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发布时间: 2016 - 03 - 07
RCA湿法腐蚀清洗机设备——华林科纳CSE华林科纳CSE湿法处理设备是国内最早致力于集成电路湿法设备的研制单位,多年来与众多的集成电路生产企业密切合作,研制开发出适合于4吋-8吋的全自动系列湿法处理设备设 备 名  称南通华林科纳CSE-RCA湿法腐蚀清洗机使 用 对 象硅晶片2-12inch适 用 领  域半导体、太阳能、液晶、MEMS等设 备 用 途硅晶片化学腐蚀和清洗的设备主体构造特点1. 设备包括:设备主体、电气控制部分、化学工艺槽、纯水清洗槽等;并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配套的接口等。2.设备为半敞开式,主体使用进口WPP15和10mm厚板材,结构设计充分考虑长期工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏,机台底盘采用德国产瓷白PP板,热焊接而成,可长期工作在酸碱腐蚀环境中3.主体:设备为半敞开式,主体使用进口WPP15和10mm厚板材,结构设计充分考虑长期工作在酸腐蚀环境,坚固耐用,双层防漏,机台底盘采用德国产瓷白PP板,热焊接而成,可长期工作在酸碱腐蚀环境中;4.骨 架:钢骨架+PP德国劳施领板组合而成,防止外壳锈蚀。5.储物区:位于工作台面左侧,约280mm宽,储物区地板有漏液孔和底部支撑;6.安全门:前侧下开透明安全门,脚踏控制;7.工艺槽:模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中。底盘采用满焊接工艺加工而成,杜绝机台的渗漏危险;8.管路系统:位于设备下部,所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明;药液管路采用PFA管,纯水管路采用白色NPP喷淋管,化学腐蚀槽废液、冲洗废水通过专用管道排放;9.电气保护:电器控制、气路控制和工艺槽控制部份在机台顶部电控区,电气元件有充分的防护以免酸雾腐蚀以保障设备性能运行稳定可靠;所有可能与酸雾接触的...
发布时间: 2017 - 12 - 19
片盒清洗机-华林科纳CSE 设备概况:主要功能:本设备主要手动/自动搬运方式,通过对片盒化学液体浸泡、冲洗、漂洗、鼓泡、快排等方式进行处理,从而达到一个用户要求的效果。设备名称:片盒清洗机设备型号:CSE-SC-N259整机尺寸(参考):约1700mm(L)×1400mm(W)×2000mm(H);(该设备非标定制)操作形式:手动 设备组成该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成 设备描述此装置是一个手动的处理设备;设备前上方有各阀门、工艺流程的控制按钮、指示灯、触摸屏(PROFACE/OMRON)、音乐盒等,操作方便;主体材料:德国进口 10mmPP 板,优质不锈钢骨架,外包 3mmPP 板防腐;台面板为德国 10mm PP 板;DIW 管路及构件采用日本进口 clean-PVC 管材,需满足 18MW去离子水水质要求;采用国际标准生产加工,焊接组装均在万级净化间内完成排风:位于机台后上部工作照明:上方防酸照明安全考虑:1. 设有 EMO(急停装置)2. 强电弱点隔离3. 所有电磁阀均高于工作槽体工作液面4. 设备排风口加负压检测表5. 设备三层防漏 漏盘倾斜 漏液报警 设备整体置于防漏托盘内 更多的花篮和片盒清洗机设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096 18913575037可立即获取免费的片盒清洗机解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
自动供液系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2016 - 06 - 13
设备名称:晶棒腐蚀机---CSE产品描述:        ●此设备自动化程度高,腐蚀清洗装置主要由水平通过式腐蚀清洗主体(槽体部分/管路部分等),移动机械传送装置,CDS系统,抽风系统,电控及操作台等部分组成;         ●进口优质透明PVC活动门(对开/推拉式),保证设备外部环境符合劳动保护的相关标准,以保证设备操作人员及其周围工作人员的身体健康;         ●机械臂定位精度高;         ●整体设备腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠;         ●设备成本合理,自动化程度高,使用成本低;技术先进,结构合理,适宜生产线上大批次操作.         ●非标设备,根据客户要求具体定制,欢迎详细咨询!更多半导体清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlcas.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 14
2设备构成及详细技术说明2.1工艺说明 2.2.台面结构图如下      3.设备说明3.1 排风系统●排风装置(排风压力、风量根据实际情况或客户要求设计)将设备内挥发的有毒气体抽到车间排风管道或户外(室外排放遵守国家环保要求),避免扩散到室内;●排风通道内设有风量导流板,从而使排风效果达到最佳;●本体顶部后方自带强力抽风1个风道口装置(每个药剂槽对应一个),排风口直径大于或等于 200mm 与本体焊成一体;●排风口处设有手动调节风门,操作人员可根据情况及时调节排风量;3.2设备防护门:●本体前方安装有防护隔离门,隔离门采用透明PVC板制成,前门可以轻松开合,在清洗过程中,隔离门关闭,以尽量改善工作环境并减小对人体的伤害. ●形式:上下推拉门。3.3 给排水/废液系统●给水管路为一路去离子水;●给排水排废接头均为活性连接;●排放方式均采用气动控制的方式来保证安全3.4 电气控制系统●采用优质PLC可编程控制器控制全操作过程, ●人机界面为触摸屏,接口中有手动操作、故障报警、安全保护等功能,各工作位过程完成提前提示报警,触摸屏选用优质产品;●触摸屏加锁定,以防非授权人员修改或设定参数;●所有电控部分需独立封闭,带抽风系统,独立的配电柜●设备照明:设备其它部位--低电压灯,根据工作需要可控照明;●设备整体采取人性化设计,方便操作;并装有漏电保护和声光报警提示装置,保证性能安全可靠;电控部分导线采用耐高温、耐腐蚀的专用导线,电气控制部分内部还通有压缩空气保护,可防水耐腐蚀;●设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE管进行保护,免受腐蚀;●设备具有良好的接地装置;
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一. 硅片的化学清洗工艺原理  硅片经过不同工序加工后,其表面已受到严重沾污,一般讲硅片表面沾污大致可分在三类:  A. 有机杂质沾污: 可通过有机试剂的溶解作用,结合超声波清洗技术来去除。  B. 颗粒沾污:运用物理的方法可采机械擦洗或超声波清洗技术来去除粒径 ≥ 0.4 μm颗粒,利用兆声波可去除 ≥ 0.2 μm颗粒。  C. 金属离子沾污:必须采用化学的方法才能清洗其沾污,硅片表面金属杂质沾污有两大类:  a. 一类是沾污离子或原子通过吸附分散附着在硅片表面。  b. 另一类是带正电的金属离子得到电子后面附着(尤如“电镀”)到硅片表面。  硅抛光片的化学清洗目的就在于要去除这种沾污,一般可按下述办法进行清洗去除沾污。  a. 使用强氧化剂使“电镀”附着到硅表面的金属离子、氧化成金属,溶解在清洗液中或吸附在硅片表面。  b. 用无害的小直径强正离子(如H+)来替代吸附在硅片表面的金属离子,使之溶解于清洗液中。  c. 用大量去离水进行超声波清洗,以排除溶液中的金属离子。  自1970年美国RCA实验室提出的浸泡式RCA化学清洗工艺得到了广泛应用,1978年RCA实验室又推出兆声清洗工艺,近几年来以RCA清洗理论为基础的各种清洗技术不断被开发出来,例如 :  ⑴ 美国FSI公司推出离心喷淋式化学清洗技术。  ⑵ 美国原CFM公司推出的Full-Flow systems...
发布时间: 2018 - 08 - 22
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半导体龙头大厂台积电投资逾新台币6,000亿元的3纳米厂确定落脚南科台南园区,台湾地区环保署环评专案小组昨(15)日审查南科管理局提出的环差案,台积电挂水电双保证,承诺未来20%使用绿电、每日使用再生水7.3万吨,环评小组因此一次过关,这是近年来重大开发案中少见现象,估最快2022年底或2023年初量产。半导体龙头台积电(配图来源于网络)  南科管理局长林威呈昨亲自出席说明这项重大环差案。他表示,环差案过关之后,一定会让环境保护与产业发展兼顾,台积电此案将提供超过5,000个就业机会,有利当地发展。    林威呈强调,在程序上,还要经过环评大会同意,才算完整环评程序,在环差案中,包括用水、用电、排放污水等,南科都有给出承诺,接下来在工程部分,前端的生产资源、末端的废弃物及污水处理,也将与台电、台水等权责公司一同商讨。    台积电3纳米厂最快2022年量产,环差初审一次过关0    台积电资深厂务处长庄子寿表示,台积电3纳米总投资预估至少新台币6,000亿元,如果环评案可以顺利通过,预计2020年可以建厂,2021年开始安装,预估18个月的认证,希望2022年底、2023年初开始量产。此时程是否会太晚、会不会担心竞争对手韩国三星与美国英特尔追赶?庄子寿很有信心地笑说:“我们没有在怕!”    台积电挂出水电双保证,庄子寿指出,一直以来,台积电相当支持政府绿能政策,也是重承诺的公司,...
发布时间: 2018 - 08 - 20
浏览次数:39
7月9日上午,绵阳市政府与诺思(天津)微系统有限公司签署战略合作协议:诺思(绵阳)微系统基地项目落户绵阳,总投资128亿元,年产不低于100亿颗FBAR滤波器芯片。四川省副省长彭宇行、天津大学党委书记李家俊出席签约仪式。诺思(绵阳)微系统基地项目位于绵阳市游仙区,主要生产FBAR滤波器芯片,分两期投资建设。项目全面投产后,年产不低于100亿颗FBAR滤波器芯片,预计实现年产值约150亿元,直接带动就业3000人。据介绍,滤波器作为无线通讯中的核心器件,到2020年市场规模将达千亿元级别。作为全省重要的电子信息产业基地,近年来绵阳陆续引入一批总投资超百亿元的电子信息项目,如投资465亿元的京东方绵阳第6代AMOLED(柔性)生产线、投资240亿元的惠科第8.6代薄膜晶体管液晶显示器项目。随着诺思(绵阳)微系统基地项目的投资建设,将实现绵阳集成电路产业的新突破,也将进一步完善绵阳电子信息产业链,形成以终端产品关键显示器件及集成电路为核心的完整产业生态。 (出自四川日报)更多半导体太阳能集成电路行业信息新闻可以关注 南通华林科纳半导体设备公司 www.hlkncse.com 18913575037
发布时间: 2018 - 07 - 11
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7月9日下午,市委书记朱立凡督查高新区中科院张家港纳米产业园项目,现场查看了产业园建设推进情况,并对下阶段建设提出意见。经开区党工委副书记、管委会副主任、高新区党工委副书记、管委会主任、杨舍镇党委书记卢懂平介绍了高新区项目建设的总体情况,高新区党工委委员、科技招商局局长黄晓东汇报了纳米产业园项目建设的具体进度。中科院张家港纳米产业园项目作为我市今年六个“省重大、苏州市重点项目”之一,自今年3月份破土动工以来,工程建设一方面确保建设质量,一方面紧抓建设进度,目前工程建设按期进行,主体建筑即将封顶。预计明年7月份,投入使用。该项目建成后,将成为全市化合物半导体人才的集聚地,预期可集聚半导体专业技术人才800余名;成为全市化合物半导体和集成电路企业的孵化器,预期可孵化化合物半导体、集成电路等领域的创新型企业50家;成为我市乃至长三角地区化合物半导体和集成电路企业的高水平联合研发公共服务平台、国内具有知名影响力的化合物半导体和集成电路领域的一流研发机构和产业园区,是张家港高新区着力打造全球领先的化合物半导体协同创新平台的核心单元,是高新区打造“化合物半导体世界之都”的重要组成,是引领我市半导体产业发展的重要引擎。(出自: 张家港高新技术产业开发区)更多半导体行业新闻可以关注南通华林科纳半导体设备公司www.hlkncse.com
发布时间: 2018 - 07 - 09
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注册资本5亿元,总投资不少于20亿元——随着二级子公司中电国基南方集团有限公司的揭牌,中国电子科技集团的产业进一步融入南京地方经济发展。26日,55所所长高涛透露,当前中电国基南方集团有限公司正加速在江宁开发区布局一个产业园、一个创新中心。中电国基南方集团有限公司是中国电科的全资子公司,以中国电科55所为主体组建。根据计划,中电国基南方集团有限公司将在江宁开发区打造射频集成电路产业园。产业园依托军工技术优势和现有产业基础,布局射频集成电路设计、制造、封测等产业链关键环节,在5G移动通信等领域实现国产化自主保障,并形成产业集群效应。目前,射频集成电路产业化项目已经作为中国电科第一批产融结合项目获得立项,并被南京市列为重大项目。另一个项目是射频微系统创新中心。微系统作为后摩尔时代的关键技术方向,将牵引新型军事装备和民用信息系统的换代演进,射频微系统作为一个新的产业方向,是中国企业对国外主流企业实现“弯道超车”的良好机遇。目前,55所结合技改项目已投入约7亿元建设射频微系统研发平台,并将与国际知名研发机构等深化合作。高涛说:“上个月55所与南京市秦淮区合作共建的‘中电芯谷’军民融合科技创新园区和新型研发机构已正式签约,以此为基础,中电国基南方子集团将依托‘中电芯谷’建设高频核心元器件的原始创新基地,增强行业影响力和带动力,形成产业集聚效应。”中国电科是军工电子国家队、国家信息化建设主力军...
发布时间: 2018 - 07 - 02
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在半导体芯片市场上,英特尔以往最大的筹码就是制程技术领先对手,但是,2018年开始将大不相同。因为英特尔10纳米制程的难产,到现在仍在使用14纳米制程,这给了竞争对手一个好的追赶机会。因为有外媒报导,AMD的7纳米制程芯片2018年就会出货,正式超车英特尔。根据《富比士》杂志的最新专文报导,内文提到了AMD、英特尔在新制程处理器上的进展。其中,晶圆代工龙头台积电已经决定增加7纳米制程的产能,用以协助AMD不仅生产GPU芯片,还包括7纳米的CPU芯片,特别是Zen 2架构的新一代EPYC服务器芯片。AMD的EPYC处理器已经在资料中心、单处理器服务器的市场上崭露头角,这部分业务本来是英特尔所寡占的市场。不过,AMD在某些情况下,因为可以提供更佳的效率,以及更好性能的情况下,使得AMD的EPYC服务器芯片已经在某些OEM厂商中脱颖而出。例如DELL-EMC、HP Enterprise及其他公司的产品上。预料,未来7纳米制程的Zen 2架构的EPYC服务器处理器将会继续扩展AMD的优势,以提供市场更高的性能、更多的核心数,以及更高的效率的解决方案。另外,在消费型的市场上,AMD也有显着的核心数量优势。例如,近期在高端市场上最近推出了第2代Ryzen Threadripper处理器,其12纳米制程的Zen+核心数多达32个,硬是比相同等级的英特尔28核心处理器要多,同时相容于现有的X399...
发布时间: 2018 - 06 - 29
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6月23日,英诺赛科宽禁带半导体项目在苏州市吴江区举行开工仪式。据悉,该项目总投资60亿,占地368亩,建成后将成为世界一流的集研发、设计、外延生产、芯片制造、分装测试等于一体的第三代半导体全产业链研发生产平台,填补我国高端半导体器件的产业空白。据介绍,英诺赛科由海归创业团队创立,专注于宽禁带半导体技术研发与产业化的高科技企业,掌握多项核心专利技术。2017年年底,英诺赛科在珠海成功建设完成了我国首条八英寸硅基氮化镓量产线,实现了历史性的突破,填补了我国在这一领域的空白。开工仪式上,吴江区副区长、汾湖高新区党工委副书记、管委会主任吴琦表示,英诺赛科苏州半导体项目的建设,将有助于相关上下游企业向吴江集聚靠拢,形成产业集群效应,将汾湖高新区打造成为一个世界级的先进半导体研发与生产中心。吴江将积极支持英诺赛科宽禁带半导体项目的建设,并为海归创业人士创造有利的政策环境,共同推进高端芯片的国产化。英诺赛科CEO孙在亨表示,目前,在氮化镓的电子电力器件及射频器件,尤其是硅基氮化镓领域,我国还未能实现国产化。该项目的落地,就是要打破这样的局面、填补我国高端半导体器件的产业空白。同时,该项目也是该领域全球首个大型量产基地,单月满产可达6-8万片,为5G移动通信、新能源汽车、高速列车、电子信息、航空航天、能源互联网等产业的自主创新发展和其他转型升级行业提供先进、高效、节能和低成本的核心电子元器件。(...
发布时间: 2018 - 06 - 23
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欧系外资表示,8英寸晶圆供不应求的状况预计在2019年缓解,二级晶圆代工厂明后年面临的挑战将更严峻。欧系外资出具研究报告表示,联电日前在股东会宣布计划调涨8英寸晶圆价格,以反映成本增加,推估将挹注联电今年获利约5%到10%。然而,欧系外资认为,联电、中芯等二级晶圆代工厂明后年将面临更多挑战,包括55纳米、40纳米及28纳米制程的平均售价和毛利率下滑,原因在于晶圆代工厂龙头台积电的55纳米、40纳米制程更具竞争力,加上二级晶圆代工厂的28纳米制程客户规模缩减和产品组合恶化恐侵蚀获利。欧系外资预期,8英寸晶圆供不应求的状况将在2019年缓解,原因是2019年、2020年将有更多指纹识别感应器和电源管理芯片从8英寸晶圆改采12英寸晶圆,以获得更好的功耗及更小的芯片尺英寸;若晶圆代工厂今年调涨8英寸晶圆价格,等到明年8英寸晶圆供给吃紧问题缓解后,将需要降价求售。 (出自:台湾经济日报)更多半导体行业新闻可以关注南通华林科纳半导体设备公司www.hlkncse.com
发布时间: 2018 - 06 - 20
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在6月15日于上海召开的“聚焦高端芯片、形成自主可控的产业集群”高峰论坛上,上海集成电路产业投资基金董事长沈伟国在致辞中表示,上海集成电路产业投资基金将发挥资本的力量,加快促进汽车芯片、智能移动芯片、物联网芯片、AI储存器芯片、安全芯片、以及智能储存器芯片等高端芯片的研发和生产。沈伟国认为,未来,集成电路将以技术为导向发展,制程越来越先进,集成度越来越高;同时也必将越来越围绕新兴产业的应用发展,比如围绕支持5G、汽车电子、物联网等发展,引领和带动相关产业快速发展。沈伟国介绍,上海市集成电路产业投资基金已经完成签约金额超过200亿元的投资;未来,基金将有效对标国内外高端芯片发展现状,加快推进上海高端芯片的本土化进程。资料显示,上海市集成电路产业投资基金总额500亿元,分为100亿元的装备材料基金、100亿元的设计基金、300亿元的制造基金。(出自:中国证券网)
发布时间: 2018 - 06 - 19
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高考结束后,下一道考题就是该如何选择专业。2018年最新公布的年度专业备案和审批结果显示,大数据和人工智能成为增长最多的热门专业,集成电路产业相关的专业也稍有增加。中兴事件以后,加快发展集成电路产业成为举国共识。工信部发布的白皮书提到,目前需要70万人投入到该产业中来,人才不足导致我国集成电路产业自主创新缓慢。在此背景下,集成电路相关的微电子等专业招生会迎来哪些新变化?21世纪经济报道记者从部分高校获悉,近年在陆续增加相关专业招生,有的学校还在大幅扩招。行业人才稀缺需扩招今年3月发布的《2017年度普通高等学校本科专业备案和审批结果的通知》显示,本次共新增专业2311个,涉及135所高校。在新增备案本科专业中,有250所高校新增“数据科学与大数据技术”专业;18所高校新增网络空间安全专业,60所高校获批机器人工程专业。21世纪经济报道记者梳理发现,有6所高校增加了微电子工程专业,其中包括同济大学、哈尔滨工业大学、河南理工大学、湖南理工学院、河南师范大学、重庆邮电大学移通学院。虽然微电子专业的热度无法跟大数据、人工智能和网络安全等行业比较,不过也算有所增加。东南大学教授丁博胜透露,该校微电子学院的工学博士名额已经从之前的20名左右扩招到了最近的180多名。一位准备报考东南大学博士的行业从业者也表示,目前集成电路相关专业的博士名额增加了很多。作为首批国家集成电路人才培养基地之一的东南大...
发布时间: 2018 - 06 - 13
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