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湿法制程整体解决方案提供商

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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。南通华林科纳CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称南通华林科纳CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8798-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 南通华林科纳CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最大晶...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE南通华林科纳半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system南通华林科纳CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注南通华林科纳半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称南通华林科纳CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
新闻中心 新闻资讯

超高压清洗机设计

时间: 2021-04-12
点击次数: 4

超高压清洗机设计

.高压水冲毛机:

高压水冲毛机(清洗机)系用于混凝土浇筑施工中混凝土水平施工缝表面冲毛处理的专用机械,是高压水射流技术在生产实际中的一种应用。该机以清水作为工作介质,自来水经高压泵加压后,经节流阀、喷枪、喷嘴,使高压水变为高速射流打击于混凝土表面。在高压水流的冲蚀作用下,混凝土表面乳化皮层迅速剥落呈粗砂状,从而达到表面处理要求。可用于电力、石油、化工、轻工等各工业部门的管道、管束内外壁,容器与罐槽内壁的清洗剥层;车辆、船舶、闸门及钢质设备的表面除锈、除脂;市政管道疏通、清洗;铸件清理等工作。其驱动力有电机或内燃机两种方式,以供用户选择。

.混凝土冲毛

·混凝土输送带的冲洗、喷雾、保湿

·大型混凝土清除和剥离钢筋

·混凝土结构的水清拆

.机型扩展

其中,本机型可以扩展为表格中对应的流量和压力,以适用于不同行业的清洗。

.本机组成

SL-10027型高压水射流清洗机,本机包含01部套-调压部套02部套-泵体部套03-柱塞筒部套04-压力显示部套05-传动箱部套06-底架部套07-外罩部套08-润滑冷却部套09-电气控制部套。

1、进水系统

–采用增压泵进水,避免气蚀现象的产生

–采用高精密过滤器过滤,保证不会有任何杂质进入泵体内部;

–大口径管路,保证进水充分要求;

–采用能量包分配形式进料,保证每个缸体的充分进料;

–卡箍式易装拆结构,并且容易清洗;

2、泵体系统

–进排阀采用大流道上导向式蝶阀结构,有效地降低泵体内部泄漏,充分保证流量达到设定值;

–阀芯阀座采用切削金属用的工具钢,非常耐磨,使用寿命很长;

–独立的单向阀阀套设计,安装维修迅速方便;

–整体锻造的不锈钢泵体经严格的固溶和探伤处理,极为坚固耐用;

–分体式耐高压泵体,解决高压应力集中而产生的泵体开裂;

–采用三段式泵体设计,增强了泵体的安装强度,同时维护更加方便;

3、柱塞和柱塞筒系统

–往复柱塞采用组合式等压双向密封结构,密封可靠耐用;

–柱塞密封圈采用高压行业普遍采用的矩形填料密封,但是我们的密封圈材料是采用四氟超细纤维而不是普通的编制物,该材料在浸润后的膨胀性和耐磨性非常好;

–柱塞采用切削金属用的工具钢,非常耐磨,使用寿命很长;–将泵体与柱塞筒分成两个部分,以分散聚集内应力,保证泵体的强度;

–自紧式柱塞密封设计,延长了密封圈的连续使用寿命;–柱塞筒本体与柱塞筒螺母采用不同的材料,解决了材料间的抗咬合问题;

–泵体与柱塞密封圈部件采用易拆装结构设计,把停机时间缩到最短;

–柱塞冷却采用闭式内循环油冷却系统,避免了以往用水冷产生的许多不良弊端;

–大行程往复设计,提高了密封圈的耐磨性;

4、传动系统

–采用模块式部件化,通过集成化的装配,降低了整机的故障率;万一整机出现故障时,由于是模块化的设计,可以对部件进行整体更换,(即:把新的成套机构直接安装上去,把旧的零部件拆下并安心地进行维修)把停机时间降低到最小;

–在设备的维护检修方面,由于采用卧式平铺结构设计,均质机的所有大型零部件均在同一平面,各自有着相对独立的空间,而且只要打开设备外罩的顶盖,各部位机构一览无疑,不需要进行很大的拆卸便能进行维护保养;

–采用一级柔性减速机构和二级硬性减速机构:一级采用V形三角带(SPC系列重载带)具有减震和安全防护性、二级采用齿轮定速比减速,提供强劲的扭矩;

–采用低速运动设计,大大降低了单向阀的开启次数,同时也降低了各磨擦付的磨损,从而增加了易损件的使用寿命;–曲轴采用合金钢锻件而不是铸铁,并经探伤处理,达到最大的强度;(合金钢锻件的抗疲劳强度及抗弯强度比铸铁要高好几倍)

–轴瓦采用巴氏合金,大型发动机均采用该材质的轴瓦,在运行中有良好的自磨保护功能,保护曲轴不会被损坏;并且该材料本身有极好的耐磨性;

–整体式十字头导向系统,导向极为精确,确保柱塞的运行精度(柱塞同心度);

–安全可靠的润滑方式:采用强制压力润滑系统+飞溅自润滑系统,利用压力油泵将润滑油输送到每一个润滑点,并结合飞溅润滑,保证传动箱组件安全稳定地运行;同时主要部分采用双油路润滑,所以只要传动箱内不缺油及润滑油不变性,传动箱基本上可以处于免维护状态;

–配备强制冷却系统,设有专门的列管式冷却器对润滑油进行强制冷却,保证设备在24小时连续运转的情况下油温稳定在65℃以下,保持了润滑油良好的油温特性,设备运转更安全;

–每个关键点都有仪表监测,可以无需打开传动箱而又能方便地知道设备的运行情况,同时也便于及早地发现问题,提高了设备的可靠性;

5、电控系统

本机有主电机55KW、油泵电机1.5KW和增压泵电机3KW组成,开机时先开增压泵电机、再开油泵电机、最后再开主电机关机时先关主电机、再关油泵电机、最后关增压泵电机这种控制先后顺序。

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