枚叶式清洗机-华林科纳CSE
华林科纳（江苏）半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长：
单片式清洗装置的优点（与浸渍.槽式比较）
1.晶片表面的微粒数非常少（到25nm可对应）
例：附着粒子数…10个/W以下（0.08UM以上粒子）
（参考）槽式200个/W
2.药液纯水的消费量少
药液…（例）1%DHF的情况 20L/日
纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分
3.小装置size（根据每个客户可以定制）
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液体溅射（尘埃强制除去）
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（推荐)清洗方法
![]( "华林科纳样本最终稿印刷2015.10.20 转曲文件-21.jpg")
单片式装置的Particle再附着问题
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