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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。南通华林科纳CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称南通华林科纳CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 南通华林科纳CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最大晶...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE南通华林科纳半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system南通华林科纳CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注南通华林科纳半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称南通华林科纳CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
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液晶 发展趋势

时间: 2016-03-23
点击次数: 67

 

   一、外观设计引领潮流

  由于受到显像管的限制,传统CRT显示器不可能在个性化外观设计方面取得突破,而采用LCD 面板的液晶显示器显然不存在这一弊端。越来越多的显示器厂商开始在外观设计上大做文章,并且巧妙地将USB Hub、多媒体音箱等实用功能融入其中,在追求个性化的同时更提供一些有趣的功能。同时在机械转动设计上也会花上不少的心思,像下面的Sony HS75P LCD就是一款设计相当突出的产品。 


  外观设
计引领潮流 
        现代用户特别追求产品的质感,因此塑料几乎从个性化产品中淡出。为了展现高科技的一面,厂商不惜血本地采用金属材料作为边框,此时不仅更为美观,而且对于提高强度也大有裨益。生活化的气息让厂商又看到另一种发展方向,因此各种卡通以及木质造型开始流行无论是天真无暇的卡通形象还是贴近大自然的木质材料都给人亲近的感觉,这也将会是未来个性化LCD的主流发展趋势。 


  二、 追求高速响应时间 
        之前LCD显示器虽然有低辐射、文本显示效果极佳等优点,但是由于响应时间的问题,一直使得LCD显示器不能适合所有用户的需要,响应时间也成为一部分用户拒绝购买LCD显示的主要原因之一。但是随着技术的进步,LCD显示器这个一直被人们所诟病的缺点将成为历史,部分将响应时间最为卖点的个性化产品将更加受到欢迎。 
  高速响应时间成主流 
       目前LCD显示器主流市场多为响应时间为8ms的产品,但是厂商一直致力于开发响应时间更快的产品,友达就已经开发出响应时间为2ms的液晶面板,从很大程度上改进了产品的性能,能够在激烈画面变换的游戏中有良好的表现,基本上杜绝了拖尾残影的现象。展望未来,急速的响应速度将会成为个性化LCD的发展趋势,越来越多的“急速王”正如雨后春笋般涌现。 


  三、 大屏幕的诱惑 
        用户对于视野的追求始终没有停止,而拥有一个大屏幕LCD显示器的确也是个性的体现。然而值得关注的是,厂商在未来将不仅仅把个性化的大屏幕LCD局限于办公领域,越来越多的产品将向着宽银幕的方向发展,从而带来更为震撼的视觉效果。与此同时,LCD显示器的可视角度与色彩表现也将进一步发展,从而在各方面的综合素质赶上CRT技术,甚至有望以高性价比优势来威胁等离子PDP显示器的未来市场。

 

    大屏幕诱惑难抵挡

     四、无线的渴望

      微软的Mira无线显示器仅仅是一种概念,具体的产品还是由显示器厂商所生产。像优派推出的两款智能无线显示器Airpanel V110和V150,随后越来越多的产品将会加入这一阵营。当无线显示器内置Intel XScale 400MHz处理器,并预装Windows CE.NET或者Windows XP Professional操作系统之后,通过IEEE802.11b操作系统无线联机就可以实现类似笔记本的功能,而且非常适用于家庭环境。目前WIFI无线网络的传输距离可达室内50公尺、室外150公尺,坐在家中宽广无限随意撷取信息。事实上,未来无线显示器的市场需求将会进一步扩大,而厂商也将以次作为重点。无线显示器既可以通过无线网络技术连接固定的主机,也可以直接内置嵌入式移动处理器,从而实现灵活的配置。毫无疑问,坐在电脑桌前或者看着双膝上狭小的笔记本屏幕已经成为一种习惯,而个性化的无线显示器技术将带给我们革命性的改变。 


  五、 OLED引导 
        在追求个性化LCD的同时,不少对显示效果有着极高要求的用户往往抱怨LCD色彩表现力不如CRT,而且多少存在“拖尾”现象。然而有机发光二极管(OLD)技术有望在将来彻底解决问题,我们甚至可以使用上性能更好而体积更薄的显示器。OLED并不是什么遥远的未来技术,但是将其应用到显示技术的确是一种创新。显示器的亮度和对比度是极为重要的,OLED在这方面有着非常强劲的表现,它甚至比玻璃还要透亮,比玻璃还要薄,对比度更是完全能够满足我们的需求。此外,省去了背光模组装置之后,OLED在功耗和外型厚重方面也有着极为出色的表现,并且基本不存在“拖尾”现象,只要影像移动的速度低于200fps,那么它完全能够轻松胜任,而这已经超出人眼所能辨别的极限。OLED技术虽然尚在发展阶段,但其商业应用价值已大受全球电子厂商重视,其中美国柯达公司是OLED技术的领先者。此外,三洋、TDK、先锋及飞利浦等公司亦积极投入OLED的研究及开发。 


  六、 易于携带的电子纸 
        想象过吗,只要带着一张电子纸,你就可以轻松地上网,查看任何报纸媒体。这一切并非天方夜谈,而且目前已经有不少厂家生产出现实的产品。电子纸的原理其实很简单,只是两层用氧化铟锡聚酯做透明涂层的薄膜,上面的化学成分作为连续电极。薄膜之间夹有无数黑色、白色微粒,白色部分为氟化碳,黑色部分类似复印机用的墨粉。在薄膜带负电的部分,带正电的黑粒被吸附上去时呈现黑色;带正电的部分,因吸引带负电的氟化碳而变成白色。 

 
   易于携带的电子纸 
        如果大家真的使用过电子墨水显示屏,那么一定能感觉到它与传统显示器的不同。由于电子墨水显示器显示时就像在纸上用墨水写的字迹一样,因此可以减轻眼睛的疲劳。其实这真是所有显示设备厂商所追求的,让用户找到纸媒体的感觉,这才是最重要,也是最有个性的!然而目前电子纸技术尚未完全成熟,无法显示彩色与成本高昂是急待解决的问题。

 

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