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湿法制程整体解决方案提供商

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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。南通华林科纳CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称南通华林科纳CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 南通华林科纳CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最大晶...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE南通华林科纳半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system南通华林科纳CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注南通华林科纳半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称南通华林科纳CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
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行业新闻:广州半导体协会成立,为广州注入“芯”动能

时间: 2018-06-05
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6月2日至3日,广州市半导体座谈会、广州半导体高峰论坛在黄埔区、广州开发区举行,广州市半导体协会在该区宣布正式成立。该协会将带动打造广州半导体发展行业联盟,构建协同发展的产业生态圈,推动广州半导体产业实现跨越式发展,对本地半导体产业发展具有里程碑意义。

中国科学院院士、复旦大学校长许宁生,国家集成电路产业投资基金股份有限公司总裁丁文武、中科院微电子所所长叶甜春、复旦大学微电子学院执行院长张卫、中山大学微电子学院院长邓少芝等10余名院士专家、50余家市内半导体企业代表及来自社会各界的160名代表参加了本次活动。

汽车电子芯片可作为穗差异化发展突破口

在6月2日举行的广州市半导体座谈会上,来自业界、学界、投资界和政界的近30位嘉宾围绕全球视野下广州的半导体产业,尤其对集成电路产业应如何谋篇布局展开了热烈讨论。

“我很高兴看到广州的半导体产业动起来了。”中科院微电子所所长叶甜春认为,集成电路是全球化的产业,没有一个地方能够全部做全,不如选择在一个点上做深做透,关键是要差异化,要比竞争者更先进、更有竞争力、更有引领性,做到不可替代。

粤芯CEO、广州开发区集成电路价值创新园顾问陈卫在发言中说道:“汽车电子芯片有这么大的需求,为什么中国的IC设计厂进不去?就是因为我们缺乏自己的认证平台,终端客户只能用国外的产品。”他透露,粤芯正与广汽、北汽商谈,希望合作打造一个有公信力的认证平台,为中国自己的IC设计企业服务,使国内的汽车企业都能放心使用国产的产品。此外,广州的资本、市场双双在线,搭建这样一个平台,还有助于培养更多的人才。“从粤芯做起,我们要做差异化。”陈卫表示。

在中国科学院院士、复旦大学校长许宁生看来,中国的需求是全世界产业发展的动力,“我们到了参与全球竞争最尖端、最核心技术的关键节点,应该借这个机会形成自己的核心竞争力。”

广东省经信委原党组副书记、巡视员邹生表示,接下来重点要做三件事:一是充分发挥广东产业基金的作用,抓紧投资芯片项目;二是借助目前的东风,做好广州芯片设计的产业整合;三是抓好应用企业的对接,发挥广东制造业大省的优势,瞄准智能制造、物联网等,把人才聚集起来。

广州市半导体协会凝结粤港澳大湾区价值创新合力

6月3日,广州市半导体协会在黄埔区、广州开发区宣布成立,并举行揭牌仪式。该协会由粤芯发起并任会长单位,51个单位共同创会。

翻阅创会会员名单,其中既有安凯微电子、昂宝电子等多家黄埔区、广州开发区电子信息企业,还有来自深圳、佛山的上下游企业;既有华南理工大学、中山大学、华南师范大学、广州大学等本地高校院所,澳门大学亦加入其中,集结了粤港澳大湾区的行业力量。

复旦大学微电子学院执行院长张卫认为,广州的集成电路产业要放在广东省、珠三角、粤港澳大湾区的背景下来看,“广州将来要成为粤港澳大湾区的一个核心,粤芯应该成为我们粤港澳大湾区集成电路产业价值创新平台的核心。”

“今天广州半导体协会成立后,各方面的资源开始向广州集聚。我们希望广州成为国家集成电路产业的一支主力军,不只是生力军,共同把中国的集成电路产业带上一个新高度。”叶甜春表示。

黄埔区区长、广州开发区管委会常务副主任陈小华在致辞中提到,希望各位专家、企业家把更多的科研成果、产业项目“投资到黄埔区、广州开发区这个离成功最近的地方,共谋产业发展,共创美好未来,共同推动广州‘芯’强起来。”

据介绍,该协会将承担会员培训交流、市场评估、会展招商、行业统计调查、企业和产品认定评测等业务职能。“协会将发挥沟通纽带的作用,为政府出谋划策,与中国半导体协会做好对接,为产业链上的企业提供服务。”陈卫介绍。

广州半导体产业集聚发展势头强劲

近年来,广州牢牢抓住半导体产业新一轮发展的“春天”,提前布局集成电路产业创新发展高地,加快建设“中国制造2025”试点示范城市,先后出台了《广州市鼓励发展集成电路产业若干规定》、《广州市加快IAB产业发展五年行动计划》,明确将集成电路作为产业发展的领域重点和方向。

经过不懈努力,广州在集成电路设计、封装和测试,以及半导体器件、光电器件等领域逐步实现了从无到有、渐具规模。广州IAB产业计划的实施,拉开了半导体产业蓄势而发的序幕。

2017年底,黄埔区、广州开发区引进了广州市首个晶圆制造项目——粤芯项目,落地中新广州知识城,将建成国内第一座以虚拟IDM为营运策略的12寸芯片厂,也是广州第一条12寸芯片生产线,填补了广州制造业“缺芯”空白。

该项目建成达产后,将实现月产40000片12英寸晶圆的生产能力,将满足物联网、汽车电子等创新应用的模拟芯片需求,实现百亿级的销售目标,进一步带动上下游企业形成千亿元产值的规模。

在粤芯项目的带动下,15家关联企业签约落户在此,包括14个产业项目和一只规模达50亿元的集成电路产业基金,构建起“芯片设计—晶圆制造—封装测试—终端应用”为一体的作业模式,形成产业项目集聚集群集约的全产业链生态圈,这里将建设成为广州创“芯”智造园。 (出自:南方网

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