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【材料/设备】降低日本依赖!韩国SKC有望下半量产半导体关键材料

时间: 2020-04-21
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据中国台湾媒体报道,韩国产业通商资源部昨(20)日宣布,韩国化学大厂SKC目前正对用于半导体制程的光罩基板(Mask Blank)的试作样品展开测试,预计2020年下半年正式展开量产。

据报导,韩国的半导体制造中,其光罩基板约90%依赖日本供应,同时光罩基板也是韩国大量进口自日本的20种高科技材料之一,韩国政府希望在20种主要材料、零件、设备,能脱离对日货的倚赖,而光罩基板就名列其中。

资料显示,SKC与SK海力士同属于SK集团旗下,自1976年成立以来,在韩国最早开发及生产了不计其数的薄膜、化学、材料领域的产品,其核心部门为薄膜和化学部门。

自2018年开始,SKC已投入430亿韩元(约3500万美元)用于建设光罩基板厂,并于2019年建成,SKC不仅计划在2020年内开始光罩基板的量产,同时也计划在2021年量产更高端的产品。

2019年7月,日本经济产业省宣布,将对用于智能手机及电视机的半导体等制造过程中需要的三种材料加强对韩国的出口管制,这三种材料分别为用于半导体清洗的氟化氢、用于智能手机显示屏等的氟化聚酰亚胺,以及涂覆在半导体基板上的感光剂“光刻胶”。

对此,韩国也出台了相关措施以应对日本针对韩国的出口管制措施。如提出了100大核心战略产品国产化计划,将投入7.8万亿韩元的研发费用,在1至5年内实现核心战略产品国产化,而韩国企业也在加速在该领域的国产化。

2019年,外媒曾报道,SK海力士已开始测试从国内采购的高纯度氟化氢,而三星电子也开始在半导体生产线上试用韩国企业加工的氟化氢。

2020年初,国外媒体曾报道称,韩国产业通商资源部表示,韩国化工企业已确立能以高纯度大量生产氟化氢的制造技术,氟化氢被用于晶圆的清洗等方面。

韩国产业通商资源部的郑升一次官20日在视察SKC位于中部忠清南道天安市的工厂时强调,必须在材料、零件、设备等政策方面迅速交出成果。特别是日本于去年7月开始就对韩国展开严格出口限制的3种高端化学材料,务必要在年内达成安定供应的目标。


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