据中国台湾媒体报道，韩国产业通商资源部昨（20）日宣布，韩国化学大厂SKC目前正对用于半导体制程的光罩基板(Mask Blank)的试作样品展开测试，预计2020年下半年正式展开量产。据报导，韩国的半导体制造中，其光罩基板约90%依赖日本供应，同时光罩基板也是韩国大量进口自日本的20种高科技材料之一，韩国政府希望在20种主要材料、零件、设备，能脱离对日货的倚赖，而光罩基板就名列其中。资料显示，SKC与SK海力士同属于SK集团旗下，自1976年成立以来，在韩国最早开发及生产了不计其数的薄膜、化学、材料领域的产品，其核心部门为薄膜和化学部门。自2018年开始，SKC已投入430亿韩元(约3500万美元)用于建设光罩基板厂，并于2019年建成，SKC不仅计划在2020年内开始光罩基板的量产，同时也计划在2021年量产更高端的产品。2019年7月，日本经济产业省宣布，将对用于智能手机及电视机的半导体等制造过程中需要的三种材料加强对韩国的出口管制，这三种材料分别为用于半导体清洗的氟化氢、用于智能手机显示屏等的氟化聚酰亚胺，以及涂覆在半导体基板上的感光剂“光刻胶”。对此，韩国也出台了相关措施以应对日本针对韩国的出口管制措施。如提出了100大核心战略产品国产化计划，将投入7.8万亿韩元的研发费用，在1至5年内实现核心战略产品国产化，而韩国企业也在加速在该领域的国产化。2019年，外媒曾报道，SK...
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2020
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HIT电池具有发电量高、度电成本低的优势，具体特点如下：（1）低温工艺HIT电池结合了薄膜太阳能电池低温（900℃）扩散工艺来获得p-n结。这种技术不仅节约了能源，而且低温环境使得a_Si：H基薄膜掺杂、禁带宽度和厚度等可以较精确控制，工艺上也易于优化器件特性；低温沉积过程中，单品硅片弯曲变形小，因而其厚度可采用本底光吸收材料所要求的最低值（约80μm）；同时低温过程消除了硅衬底在高温处理中的性能退化，从而允许采用“低品质”的晶体硅甚至多晶硅来作衬底。 高温环境下发电量高，在一天的中午时分，HIT电池的发电量比一般晶体硅太阳电池高出8-10%，双玻HIT组件的发电量高出20%以上，具有更高的用户附加值。（2）双面电池HIT是非常好的双面电池，正面和背面基本无颜色差异，且双面率（指电池背面效率与正面效率之比）可达到90%以上，最高可达96%，背面发电的优势明显。（3）高效率HIT电池独有的带本征薄层的异质结结构，在p-n结成结的同时完成了单晶硅的表面钝化，大大降低了表面、界面漏电流，提高了电池效率。目前HIT电池的实验室效率已达到23%，市售200W组件的电池效率达到19.5%。（4）高稳定性HIT电池的光照稳定性好，理论研究表明非品硅薄膜/晶态硅异质结中的非晶硅薄膜没有发现Staebler-Wronski效应，从而不会出现类似非晶硅太阳能电池转换效率因光照而衰退的现象；H...
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2019
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微纳光学是目前新型光电子产业的重要发展方向，在光通信、光互联、光存储、半导体器件等诸多领域，发挥了巨大的作用。微纳光学的结构技术是指通过将微纳光学结构引入到相关的材料中，制成新型光学功能器件。微纳光学就是利用微结构材料作为光学元件的光学分支。它的结构的设计和制造是微纳光学技术发展的关键性问题，所以微纳光学成为了新型光电子产业发展的关键性突破。它的主要优点就是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能，成为21世纪国家不可或缺的关键科学和技术。微纳光学现有技术与特点微纳光学制造技术以LIGA工艺为基础，主要经过光刻、电铸制模和微纳米压印三个主要工艺步骤。（1）光刻光刻是半导体技术中晶圆制造的关键工艺，通过表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去，在晶圆表面留下带有微图形结构的薄膜。这些所有成果都必须建立在一片干净的晶圆上。可想而知，半导体清洗设备就发挥了非常大的作用。国内也是有多家湿法清洗设备厂商，其中熟知的华林科纳就是一家湿制程设备专业制造商，主要从事半导体湿制程设备的设计、研发、生产及销售。目前光刻技术传递图形的尺寸限度缩小到亚微米级，已从常规光学技术发展到应用电子束、X射线、微离子束、激光等新技术；成为一种精密的微细加工技术。微纳光学制造技术采用光刻技术在激光原版上形成具有微纳尺寸的细微结构，即...
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2020
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“芯片之城”地标产业来了！日前，江北新区举行“芯片之城”地标产业签约仪式。市委常委、江北新区党工委专职副书记罗群，新区管委会副主任陈潺嵋，东南大学首席教授、南京集成电路产业服务中心主任时龙兴，金雨茂物投资管理股份有限公司董事长段小光， 南京中安半导体责任有限公司董事长曾安，江苏超芯星半导体有限公司董事长刘欣宇出席活动。活动中，超芯星半导体项目和中安半导体项目与新区签约，未来都将落户新区研创园。据了解，江苏超芯星半导体有限公司主要从事6-8英寸SiC碳化硅芯片衬底研发及产业化，是国内领先的碳化硅材料供应商，碳化硅作为三代半导体材料，将在轨道交通、5G、新能源汽车等领域有广泛的应用前景。目前公司已推出大尺寸碳化硅扩径晶体，实现厚度突破，属于技术领先的三代半产品。总部迁入研创园后将推动上市计划，项目规划三年实现6英寸碳化硅衬底年产3万片，未来还将在SiC衬底产品的基础上，将进一步研发SiC切磨抛工艺，打造国内SiC行业标杆企业。另外，中安半导体作为先进的半导体材料检测设备研发商，拥有国内领先的检测设备研发能力。项目团队拥有硅片检测核心技术，并且具备工程应用、生产管理以及销售服务等各方面的管理经验以及多年所累积的市场资源。此次项目主要是开发半导体硅片平整度和三维形貌检测设备，从事开发200mm和300mm硅片平整度和三维形貌检测设备，目前已获得金茂资本首期风险投资，未来将通过开发拥有独立知...
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2020
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2、HIT电池工艺流程HIT电池的一大优势在于工艺步骤相对简单，总共分为四个步骤：制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备。 图表2：HIT太阳能电池工艺流程制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用PECVD法制备。 HIT电池的制备工艺步骤简单，且工艺温度低，可避免高温工艺对硅片的损伤，并有效降低排放，但是工艺难度大，且产线与传统电池不兼容，设备资产投资较大。
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2019
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AR光波导随着光纤通信的飞速发展，作为光纤传输的理论基础—光波导理论也趋于完善与系统化。光波导，因其轻薄和外界光线的高穿透特性而被认为是消费级AR眼镜的必选光学方案，又因其价格高和技术门槛高让人望而却步。随着主流AR设备微软HoloLens2、Magic Leap One等对光波导技术的采用和设备量产，以及AR光学模组厂商DigiLens、耐德佳、灵犀微光等近期融资消息的频繁披露，导致光波导的讨论热度也持续增加了不少。光波导是如何工作的其实，波导技术并不是什么新发明，我们熟悉的光通信系统中，用来传输信号的光纤组成了无数条连接大洋彼岸的海底光缆，就是波导的一种，只不过传输的是我们看不见的红外波段的光。 光波导是集成光学重要的基础性部件，它能将光波束缚在光波长量级（微米纳料级）尺寸的介质中，目前硅基/石英基沉积二氧化硅光波导晶圆是应用最广泛的，虽然各种光波导晶圆工艺过程较为简单，没有半导体晶圆的套刻多层等工艺，但光波导晶圆由于要将光在波导中传播，任何细小的微变都是使光传播出现变化，目前国内外光波导晶圆生产都集中在生产四寸或六寸，这是由于晶圆越大，应力分布产生的翘曲使晶圆的良率不高从而无法进行生产，但是晶圆无论大小，生产过程的工艺步骤基本差不多，但单片大尺寸的晶圆的芯片颗粒大大多于单片小尺寸晶圆颗粒，所以大尺寸晶圆成本优势明显，用大尺寸晶圆生产的芯片成本是小尺寸晶圆生产的芯片成...
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2020
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在许多大学、研究所，研究员在实验室做实验时，往往需要配比很多不同类型的溶液。这些溶液有酸碱液、有机液，人工配液时接触，不仅存在安全隐患，还经常存在配液比例不准确，效率低下的问题。同时，由于人工反复不断的配比，人在疲倦的时候容易出错，还易造成药液的浪费。 华林科纳公司设计的CSE-LIQOUR-II自动配液机，专为解决以上问题而研发，可以适用于各类化学生物制药工艺实验室，是用来满足药液自动配比的设备，通过称重、流量计准确计量、气压输送或注塞抽取等方式将药液按照比例输送，配液精确度能够达到2‰。 该配液机由配液控制单元与配液称量单元两部分组成。配液控制单元由显示操作区域、外接原液桶装置与计算控比装置组成，通过操作区域输入化学药液的浓度、配比比例与需要的药液量，经过计算控比装置的精确计算，将几种药液进行混合配比，从而实现药液的精确配比。同时，配有精确的配液称量单元，最高配液分辨率可达到0.01g。除了可以用量杯进行大规格的调制之外，还可以配备标准试管支架，以用来固定试管，进行精确地试管配比。 该配液机能够达到高精准、高效率的配液，并具有抗腐蚀性、毒性、耐压、防燃防爆等功能，保证操作者安全；通过计算控比单元与机台界面自动化，实现自动控制操作的运转；接触部分与绝大多数化学品（如硫酸H2SO4、硝酸HNO3、磷酸H3PO4、盐酸HCL、氢氟酸HF、缓冲氧化物刻蚀液BOE等酸性溶液；氨水N...
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2019
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1、HIT电池结构和原理HIT是Heterojunction with Intrinsic Thin-layer的缩写，意为本征薄膜异质结，因HIT已被日本三洋公司申请为注册商标，所以又被称为HJT或SHJ（Silicon Heterojunction solar cell）。该类型太阳能电池最早由日本三洋公司于1990年成功开发，当时转换效率可达到14.5%（4mm2的电池），后来在三洋公司的不断改进下，三洋HIT电池的转换效率于2015年已达到25.6%。2015年三洋的HIT专利保护结束，技术壁垒消除，是我国大力发展和推广HIT技术的大好时机。下图是HIT太阳能电池的基本构造，其特征是以光照射侧的p-i型a-Si：H膜（膜厚5-l0nm）和背面侧的i-n型a-Si：H膜（膜厚5-l0nm）夹住晶体硅片，在两侧的顶层形成透明的电极和集电极，构成具有对称结构的HIT太阳能电池。 图表：HIT太阳能电池结构示意图在电池正表面，由于能带弯曲，阻挡了电子向正面的移动，空穴则由于本征层很薄而可以隧穿后通过高掺杂的p+型非晶硅，构成空穴传输层。同样，在背表面，由于能带弯曲阻挡了空穴向背面的移动，而电子可以隧穿后通过高掺杂的n+型非晶硅，构成电子传输层。通过在电池正反两面沉积选择性传输层，使得光生载流子只能在吸收材料中产生富集然后从电池的一个表面流出，从而实现两者的分离...
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2019
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2019年上半年接近尾声，华林科纳设备事业部喜讯频频。5月28日再次签下上海12寸晶圆产线晶圆项目的slurry供应系统千万大单，标志着华林科纳Slurry供应系统在大尺寸晶圆项目上取得新的突破。究竟什么是Slurry供应系统？在厂务化学系统中，与CMP制程关系最为密切的就是Slurry化学研磨液供应系统。Slurry供应系统是指无间断（24小时/天，365天/年）为CMP提供制程所需要的化学研磨液的系统。一旦厂务Slurry供应系统出现异常，将使CMP制程造成极为严重的损失，Slurry品质至关重要。这次客户选择华林科纳作为Slurry供应系统项目的合作对象，是对我们产品品质最大的认可。接下来，我们华林科纳也将会以最大能力保障客户Slurry供应系统的稳定性与安全性。
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2019
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近几年，在政策和市场双轮驱动下，骨干企业加大了工艺研发和技改投入力度，生产工艺水平不断进步，高效电池技术不断发展。 2018年，各种电池技术平均转换效率方面，规模化生产的多晶黑硅电池的平均转换效率达到19.2%，使用PERC电池技术的单晶和多晶黑硅电池效率提升至21.8%和20.3%，较2017年分别提升0.5个百分点和0.3个百分点，N型PERT单晶电池平均转换效率已经达到21.5%。双面N型PERT电池和异质结（HJT）电池已进入量产，并且会成为未来发展的主要方向之一。下表给出了2018-2025年不同类型电池转换效率变化趋势。 2018年，各种电池技术市场占比方面，BSF电池（常规电池及多晶黑硅电池结构）仍占据大部分市场份额，但相比2017年83%的占比已下降了23个百分点，随着新技术的发展其占比将逐年减少；PERC电池是当前产能最大的高效电池，2018年市场份额占比大幅增加，达到33.5%左右，预计明年PERC电池市场占比将反超BSF电池，成为市场占比最高的电池种类。双面N型PERT电池、背接触（IBC）电池、异质结（HJT）电池等新型高效电池市场份额将逐步提高，其中N-PERT电池未来将成为市场占比第二的电池种类。下图给出了2018-2025年不同电池技术市场占比的变化趋势。 纵观未来光伏市场发展，随着高效电池技术的逐步成熟、成本的逐步下降，产品市场需求将继续扩大，...
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