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本文涉及一种清洗太阳能电池晶片的清洗设备，特别涉及一种用于干燥清洗后的晶片的太阳能电池晶片清洗器的干洗装置。根据发明的太阳能电池晶片洗涤器用干装置包括:在内部注入晶片的情况下使晶片干燥的腔室、在该腔室内旋转支承的情况下提供空气以使注入腔室内的晶片干燥的摆动喷嘴、旋转驱动该摆动喷嘴的摆动驱动装置，从而确保更好的干燥性能，大大缩短干燥时间，从而有助于提高生产率。
太阳能电池是吸收太阳光并产生电动势的光电转换元件，是太阳能发电系统的核心，目前晶体硅(Si)占太阳能电池材料的90%以上。太阳能电池级晶片与已经用作半导体电路元件基板50多年的半导体级硅片相比，为了降低制造成本，纯度比11 Nine低6 Nine(99.9999%)但是，虽然电路的复杂性或线宽大小有差异，但从根本上说，半导体所子和太阳能电池都是通过添加硼(B)、磷(P)等兴奋剂形成P型和n型区域，制作电极的过程是相同的。形成如此众多光电转换元件的太阳能电池级晶片被称为Solar Wafer。这样制造Solar Wafer，配置电池并安装在现场，太阳能发电系统就完成了。
另一方面，太阳能电池制造工艺由光刻、蚀刻（蚀刻）、离子注入、薄膜形成等众多单位工程组成，在一个单位工程结束，进入下一个单位工程之前，必须经过清洁工艺。这样，清洁设备可以降低昂贵的工艺设备部件和材料的更换费用，是提高半导体/LCD/太阳能电池收率所必需的设备。
为了解决上述问题而制定的， 使用室中的摇摆喷嘴， 其目的在于确保更可靠的干燥性能，大大缩短干燥时间，为提高生产效率做出贡献的太阳能电池Wayper清洁器用干洗装置。
根据发明的太阳能电池晶片清洁器用干洗装置包括:在内部投入晶片的情况下，实现对晶片进行干燥的室结构体和； 形成为管道结构，并从上述室结构体的外部向内部连接，可旋转地支撑在上述室结构体上，与摆动喷嘴提供气动以使所投于室结构体内的晶片能够干燥； 特征为具备在上述室结构体上，包括旋转上述摆动喷嘴的摆动驱动装置
本发明，当室内喷嘴配置为可以一边旋转一边喷射干燥用气动一边干燥晶片时，对门具有缩短晶片干燥时间，大大提高生产效率的效果。 也就是说， 本发明通过将喷嘴配置为可以进行摆动运动， 它被配置为使晶片在室内产生涡流流动，从而使晶片在整个晶片上产生空气混合效应。 通过最小化干燥过程中可能发生的污渍（Water Mark）等，可以提高干燥性能，通过缩短干燥时间，可以提高生产效率， 因此从喷嘴喷射的气动在室内涡流流动，使晶片干燥后通过室下部顺利强制排气的效果。 此外由于在室的两侧或下部设置了多个摇摆喷嘴，因此可以通过单独喷射或喷射量组节等适当地调节晶片干燥所需的空气，从而达到提高干燥效率的效果。
按照上述顺序进行的清洁工程， 将晶片用NaOH溶液清洗污染源的克林步骤； 用超纯DI（deionized）水冲洗的护发素步骤，然后是干燥步骤，这是一个例子，并不一定限于上述工艺路线。
图3是正视图，在这些图中我们可以看到，太阳能电池晶片清洁器用干洗装置， 主要包括:内部由一个腔室结构体组成，该腔室结构体可在一个腔被投入的情况下使晶片干燥， 由管道结构形成并从上述室结构体（100）的外部向内部连接，同时在上述室结构体（100）上可旋转地支承以提供能够使上述晶片干燥的空气的摆动喷嘴（Swing 包括nozzle）（200），以及具备在上述室结构体（100）的外侧以旋转上述摆动喷嘴（200）的摆动驱动装置（300）。
参考图2和图3， 开关用致动器（155）可被配置为以气动或液压方式开路， 在利用气动的情况下，与在摆动底板（135）上垂直方向支承的气动缸（156）， 可以由开关杆（157）组成，开关杆在该气动缸的活塞杆端部以链接方式连接到罩体（150）的旋转轴（158）。 作为参考，在图3中，开关用致动器（155）只在一侧成城，但一侧为方便省略成城，构成为分别设置在两侧罩（150）上，如在图2中所示。
如上所述（图中实例图片并没有一一说明），本发明的实施例中所述的技术思想可以分别独立实施，彼此组合实施。 此外， 本发明通过图纸及发明的详细说明中所载的实施例加以说明，但仅作为示例。