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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。南通华林科纳CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称南通华林科纳CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 南通华林科纳CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最大晶...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE南通华林科纳半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system南通华林科纳CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注南通华林科纳半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称南通华林科纳CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
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太阳能光伏最新新闻资讯

时间: 2017-01-04
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太阳能光伏最新新闻资讯

韩七电企投资30亿美元发展可再生能源 近四成将用于太阳能

根据韩国政府规划,到2025年,可再生能源占全国电力总量比例将达到11%。同时,政府鼓励公共能源企业和私营企业大力投资可再生能源,以实现全国可再生能源发展目标和减排目标。

韩国六大电力企业联合韩国电力工社KEPC日前宣布,将在2017-2018年投资30.6亿美元发展可再生能源,尤其是可再生能源发电设施、新技术的开发,从而加强韩国在可再生能源领域的重要地位,共同应对气候变化。

据介绍,这笔投资的38.6%将用于太阳能发电,35%用于风力发电,17.9%用于燃料电池。其中,燃料电池已成为交通领域最受关注的新兴市场,而韩国已经成为成为最具吸引力的燃料电池市场。政府和企业的投入将进一步推动该市场的发展。

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根据韩国政府规划,到2025年,可再生能源占全国电力总量比例将达到11%。同时,政府鼓励公共能源企业和私营企业大力投资可再生能源,以实现全国可再生能源发展目标和减排目标。 出自:电缆网

双轴追光柔性支架水上光伏电站建成

近日,双轴追光柔性支架水上光伏电站示范项目施工顺利完成,项目实现了双轴追光,属全球首创,比行业同类产品发电量提高20%以上;水上漂浮系统采用的柔性网架,完全自有设计,比行业同类产品成本降低30%以上。

产品釆用数学分形理论丶生物进化理论丶力学桁架理论合一的独特设计,使漂浮平台的抗台风能力大大提高,数据测算其抗台风能力优于同类产品的3-20倍。

产品在水体适合方面,由于水深不受限制的优势,因比水体适应能力极强,包括水深不断变化的沉陷区等水体。水位涨落最高承受可达20米,水流速最高可达3米/秒,风速最高可承受45米/秒。

项目采用自主知识产权专利近20项,项目成为全球首个双轴追光水上光伏电站项目,具有重要示范效应。

光伏电站行业是以度电成本为竞争力导向的,最终肯定是最有能力降低电价的企业获得发展。

而当前光伏电站发展存在包括土地性质与成本、发电质量、安全风险、管理风险等问题。由于土地性质导致无法并网不在少数,政府征收费用、征地移民成本、运营期租金使土地成本越来越高;用地指标管理复杂、区域弃光限电使光伏电站投资风险剧增;现有水面光伏电站方案要么成本高要么环境风险高要么水体适应能力弱,缺乏大面积推广的竞争力。

双轴追光柔性支架水上光伏电站是利用水上光伏浮动平台将光伏组件漂浮在水面进行发电。水上光伏电站不占用土地资源,水体对光伏组件有冷却效应,可以抑制组件表面温度上升,从而获得更高的发电量,可广泛应用于水库、湖泊、池塘、煤矿沉陷区、工业废水池等环境。公司产品对于饮用水完全无害,同时由于减少蒸发水量对于农业灌溉和饮用水生产,以及遮挡作用可控制藻类生产,严格独特的可循环利用的材料选择都具有良好的环境效益。模块化的技术和简单的安装和拆卸方式,无需笨重的机械设备,无疑是光伏从业者的福音。

目前,国家能源局正在推行的光伏“领跑者计划”,将加速水上光伏的发展,双轴追光柔性支架水上光伏电站项目的成功建设,将对包括煤矿沉陷区在内水上光伏业务的开展起到了重大推广作用,为光伏行业发展增添新的活力! 出自:重庆晚报

京仪光伏组件生产线投产运行

近日,京仪赛拉弗200兆瓦光伏组件生产线在京仪集团所属京仪涿鹿光伏基地投产运行,在生产现场的一片掌声中,生产线第一块电池组件板通过质检合格下线。北控集团、张家口市、京仪集团、涿鹿县领导齐聚现场,共同为生产线第一块组件板揭牌。该组件生产线项目由京仪涿鹿公司和江苏赛拉弗公司共同投资建设而成,总投资1亿元,项目正式投产后,可实现年销售收入3亿元,并促进当地经济发展和就业。

光伏组件项目的正式投产,是京仪涿鹿发展的一个新起点、新里程。公司要以此为基础,不断完善京仪光伏产业链,扩大市场布局,为推动京仪光伏产业发展和地方经济发展壮大做出贡献。“十三五”期间,京仪集团将投资建设1吉瓦光伏电站,总投资65亿元,从光伏制造到光伏电站建设、运营形成完整的光伏产业链。

光伏组件的制造过程是将单个电池片封装成一个标准的发电单元的过程,使电池能在一个良好的机械性能和电性能环境下发挥最大的效用。200兆瓦光伏组件生产线项目建设历时三个月,是对比国内先进生产线综合各方面优势而设计的,具有较高的自动化程度和稳定性。为京仪集团实现“转型升级、高端发展”战略目标,打造高端装备制造业基地、实现现代化产线管理、打造地方示范生产奠定了坚实的基础。出自:OFweek 太阳能光伏网

多晶凭性价比和产能优势仍占据市场主导

近期光伏“超级领跑者”计划的提出再次让高效产品成为行业关注的热点,单晶与多晶之争也再一次甚嚣尘上。统计数据显示,尽管单晶的转换效率高于多晶,但同等条件下,高效多晶的投资回报率仍力压单晶。随着技术改进带来的功率提升,量产单多晶组件功率差将进一步缩小,多晶组件仍将持续占据市场主导地位。

影响光伏发电成本的关键因素

由国家能源局牵头推动、实行的光伏“领跑者计划”从2015年开始执行。根据规定,多晶组件转换效率需达16.5%,单晶转换效率则是17%以上。作为电站业主或组件采购商,在单多晶组件都满足了国家领跑者要求的转换效率的情况下,性价比才是光伏发电的核心考虑因素。行业内的公认指标是LCOE(Levelized Cost of Energy),即“平准化度电成本”。

在光伏电站投资中,组件成本占比约为45%,剩余的成本占到55%,因而在组件发电量一致的前提下,组件效率更高,可以在剩余的成本上节约费用。而剩余的成本中,受组件效率高低影响的因素主要是土地、支架、线缆、安装等环节,其实只占到总成本的20%左右。因此,如果高效率组件带来剩余成本降低的同时,因自身成本增加导致45%的组件成本上升过多,则反而会导致项目整体度电成本上升,项目收益率下降。

对比一下光伏电站投资成本重头——组件的价格。以装机容量达20MW的项目为参照,把达到领跑者门槛效率的270W多晶组件、280W单晶组件以及290W PERC高效单晶组件三款组件进行对比,并对建设成本进行了核算。从数据对比可以看出:多晶组件凭借每瓦3.12元占据上风,其性价比大大高于主流高效单晶技术产品。

而以50MW项目为基础,分别列出应用三款不同组件对应的建造成本,并考虑到25年土地成本差异,多晶组件单瓦的总成本以6.92元远远胜过单晶与高效单晶组件,可以对比出高效多晶的性价比优势。

综合数据可以看出,组件功率每上升10W,可以给系统BOS成本带来约0.05~0.06元/W的差异。然而,由于三款组件本身的价格差异太大,导致单晶高效率优势并未带来总建设成本的下降。按照50MW的项目来看,单晶、高效单晶与多晶组件系统成本相比,分别将高出600万与850万左右。

平价上网仍需发挥多晶优势

根据PHOTON户外长期跟踪报告,每瓦发电量多晶组件与单晶组件无明显差别,差别主要来源于组件的封装质量、封装材料、衰减等因素。目前行业内各家公布的组件衰减参数情况基本相仿,单晶产品首年衰减3%,多晶则为2.5%;而单晶弱光响应能力稍强。所以选对组件制造商以及BOM才是最重要的。

目前来看,单多晶组件每瓦发电量几乎一致,这意味着以在中国建设电站的成本模型来考虑,如果要使度电成本下降,单晶280W组件的价格只能比多晶270W组件高0.06元/W;而PERC单晶290W组件的价格也只能比多晶270W高0.12元/W以内才能实现平价上网。因此,高效技术是否能真正给电站业主带来总投资回报的增益,最终还是要结合成本因素全面考虑。高效单晶技术要大量普及,不能光靠国家领跑者划出的门槛,而必须在控制成本上多下功夫,确保能与高效多晶技术保持在合理的价差范围内。在组件成本中占相当比重的硅片是降本增效的重要手段。目前单多晶硅片价差一元的水平,至少要减半,单晶组件的性价比才能显现。

达标产能将明显变少

领跑者计划规定,多晶组件转换效率需达16.5%,单晶转换效率则是17%以上。由于单晶组件的转换效率高,80%的单晶产能都能满足这一要求,而多晶能达到16.5%的产能比例则要少很多。随着最近“超级领跑者”的呼声越来越高,新的门槛出来后,单晶产能达到标准的比例势必将大幅下降。

大部分领跑者项目规定电站在2017年9月30日前满足并网发电的条件,而2017年光伏上网标杆电价再度下调,又将面临新一轮抢装潮。尽管目前TOP5的组件企业在不断加大高效单晶产品的产能,但是远远不能满足市场对高效产品的需求。

与此同时,随着高效多晶技术的发展,多晶组件在成本增加很有限的前提下,效率也在稳步提升。单多晶组件功率差异将从过去的20W左右缩小到10W甚至5W。目前多晶275W组件已经量产,当2017年上半年超级领跑者推出时,多晶组件的量产功率预计将达到280W,价格预计将依然控制在现有水平。这样的性价比和产能优势将对单晶发起强劲的挑战。而扎堆采购单晶PERC组件恐再次出现推迟交货6个月的窘境。(出自:中国商务新闻网)

(项目来自网络,由华林科纳半导体论坛整理发布,内容仅供参考,谢谢!)

 


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