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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。南通华林科纳CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称南通华林科纳CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 南通华林科纳CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最大晶...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE南通华林科纳半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system南通华林科纳CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注南通华林科纳半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称南通华林科纳CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
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最新新闻资讯2017.01.11

时间: 2017-01-11
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半导体行业最新新闻资讯

2017年力拚转型 台系IC设计抢增第二专长

在引进大陆资金无望后,加上联发科集团几乎已占台湾IC设计产业产值逾50%,台系IC设计公司2017年力拚转型的计划必须再加快脚步,尤其是面对大陆同业的拔桩、杀价竞争,若不试图技术升级、寻求新的产品市场蓝海以降低产品太过单一的风险,那公司营运逐步衰退将是必然的结局。面对物联网(IoT)世代商机逐步发酵,加上不少新的利基型芯片需求也因终端4C产品市场互相跨界而兴起,在2016、2017年力图转型的台系IC设计公司正逐步累积化危机为转机,静待日后收割成果。

台系IC设计业者指出,单靠1个产品及市场或许可以成就公司短期业绩的爆发,但就长期而言,仅靠单脚站立的公司营运结构势必较难挡大环境的景气变化及产品新旧交替的兴衰考验,只是,若要有更多元化的产品及市场策略,背后需有更多的研发团队资源来支持。在遭遇资本市场评价持续低落以及公司本身营运每况愈下的情况下,台系IC设计公司必须改正过去短视成长的毛病,转型再出发已成当务之急,台系IC设计公司也正努力借镜台湾工业电脑产业的成功转型之路。出自:Digitimes

三星抢占汽车芯片大蛋糕

近日,韩国媒体报道三星将从2018年开始,向奥迪供应Exynos处理器,共同打造无人驾驶汽车。其实在去年早些时候就已经有新闻报道,三星专门成立了一个工作小组,用来研发无人驾驶汽车芯片及传感器。

虽然三星进军无人驾驶汽车领域的节奏相对于其他芯片巨头有点慢,但是随着最近无人驾驶的新闻越来越多,我们也会发现三星开始在汽车芯片上的有了新的进展。出自:36kr

亚马逊悄然收购AI安全公司harvest.ai 增强云服务安全

据外媒TechCrunch报道,亚马逊的云服务部门AWS很可能已经悄然收购了网络安全公司harvest.ai。

harvest.ai创始团队中包括两位前NSA员工,他们用机器学习和人工智能的方式,分析一家公司关键IP上的用户行为,从而识别和阻止有针对性的攻击,防止信息泄露。

harvest.ai的旗舰产品是MACIE Analytics。它使用AI来实时监控一家公司的知识产权被访问情况,评估是谁以及在何时查看、复制或移动特定文档,以便识别可疑的行为模式,在数据泄露事件发生之前就阻止 它。这种服务是打击内部风险的一种方式。出自:雷锋网

高通推自有无人机导航技术 可自动判断障碍物避免碰撞

无人机(Drone)成为CES 2017展出一大亮点,高通(Qualcomm)虽非无人机实际生产商,但也在CES 2017中发表一款称为“高通飞行无人机平台”(Snapdragon Flight Drone Platform)的全新无人机技术,能够提供所搭载无人机机器学习(ML)与飞行控制支援,有助无人机飞行时自动判断前方障碍物,避免遭遇飞行碰撞风险。出自:Digitimes

海润光伏子公司1.37亿收购兆晶光电

海润光伏又有新动作。1月9日晚间海润光伏发布公告称,子公司海润新能源科技有限公司(以下简称“海润新能源”)与营口晶晶光电科技有限公司(以下简称“晶晶光电”)拟就国电兆晶光电科技江苏有限公司(以下简称“兆晶光电”)51%股权收购事宜签署了《预收购协议》,协议约定,公司拟以不超过1.37亿元的价格收购营口晶晶光电科技有限公司所持有的国电兆晶光电科技江苏有限公司51%股权。

据了解,兆晶光电是2010年成立的一家光伏组件研发与生产企业。目前由国电光伏和晶晶光电共同出资,注册资本金人民币3亿元,其中国电光伏出资1.53亿元占51%股权,晶晶光电出资1.47亿元占49%股权。海润新能源与晶晶光电签订了《股权转让合同》,晶晶光电将所持有的目标公司49%股权转让给海润新能源。晶晶光电目前正进行收购国电光伏所持有的51%目标公司股权,收购完成后,晶晶光电将51%目标公司股权再转让给海润新能源。出自:北京商报

22亿新能源项目落户江苏扬州开发区 太阳能硅片产能将扩大到3GW

近日,亚太资源开发投资集团旗下江苏顺风清洁能源集团与扬州经济技术开发区签署荣德3GW太阳能硅片和亚太资源低碳示范社区投资协议,计划总投资22亿元。市委书记谢正义,副市长、开发区党工委书记丁一,亚太资源开发投资集团董事局主席郑建明出席签约仪式。出自:扬州晚报

印度将招标近3吉瓦新太阳能项目

印度太阳能公司(SECI)本周一宣布将招标2.3GW的新太阳能项目。而泰米尔纳德邦电力公司(TENGEDCO)则刚启动了在该州500兆瓦光伏项目的招标。这两项招标行动相加,代表着2.8GW的多个公用事业规模的新太阳能光伏项目。出自:pv-magazine

超多维携富智康、天马、梦工厂共建3D生态圈

深圳超多维光电子有限公司(超多维SuperD)日前宣布,正式携手富智康集团有限公司(富智康)、天马微电子股份有限公司(天马)、梦工厂,打造全球首个裸眼3D生态圈,并吹响“共邀、共创、共赢”的号角激励更多合作伙伴加入,将裸眼3D全面市场化,相关的裸眼3D设备、3D内容等3D生态圈围绕技术、产业工程、产品、内容服务、开发者和网络等六大平台进行布局。出自:SEMI中国

盖板玻璃投资热再起 北玻股份、彩虹集团南下捞金

盖板玻璃行业刚进入新年就迎来新的投资热情,北玻股份、彩虹集团近期都宣布增加投资,于南方地区开展电子消费品盖板玻璃业务,开始南下捞金步伐。出自:旭日显示与触摸

京东方物联网透明显示系统整体解决方案在日本面市

近日,BOE(京东方)的一款黑科技——物联网透明显示系统整体解决方案在日本引起关注。传统的显示屏被BOE(京东方)玩出了新花样。

出自:OFweek 显示网


(项目来自网络,由华林科纳半导体论坛整理发布,内容仅供参考,谢谢!)

 

 

 


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