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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。南通华林科纳CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称南通华林科纳CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 南通华林科纳CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最大晶...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE南通华林科纳半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system南通华林科纳CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注南通华林科纳半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称南通华林科纳CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
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半导体加速物联网落地,英特尔加速零售变革

时间: 2018-09-12
点击次数: 22

万物互联蕴含数万亿美元经济价值,全社会积极拥抱,无论是谷歌和阿里巴巴等互联网巨头,亦是IBM和微软等老牌科技企业,还有高通、英伟达和英特尔等半导体厂商,都早已瞄准这一新风口。各厂商不断强调物联网战略,谷歌以物联网操作系统Android Things 为核心,让开发者大规模构建和维护物联网设备,并推出Edge TPU芯片,将谷歌强大的AI能力扩展到各种智能设备上,让本地就具有AI处理能力,这是谷歌抢攻物联网市场核心手段。

半导体加速物联网落地,英特尔加速零售变革

半导体厂商则变革物联网,适用各种智能设备的芯片以及人工智能、深度学习能力助推物联网应用落地,例如基于深度学习视觉处理后的摄像头,实现了快速、精准识别,提升应用价值,做到“看得懂”世界,让笔者感叹高科技引领的时代到来,万物透过互联,赋予万物感知、认知,我们处在了万物互联的好时代。

半导体厂商最大受益者

今年,物联网得到了快速发展,从智能安防到智慧城市,从智能汽车到无人驾驶,从新零售到智慧零售等,万物互联带给各行业变革,由于应用不断扩大,物联网也将迎来更大规模部署,而半导体厂商最先受益这一波红利,来自Gartner分析数据显示,物联网的半导体市场将高达340亿美元。物联网市场的增长,对半导体行业产生了重大的影响。

英伟达因受益于AI芯片受市场追捧,高通对此也做出预测,物联网芯片对年度能为能带来10亿美元营收,这是继智能手机后,物联网芯片将会成为高通第二大市场。英特尔在今年早些时候也给出一组数据,人工智能芯片为英特尔创造了10亿美元收入。

半导体加速物联网落地,英特尔加速零售变革

作为积极拥抱物联网的英特尔,去年营收创新高,来自数据中心(云)和物联网保持高速增长,2017年物联网创造了营收32亿美元,同比增长20%。英特尔物联网集团业务稳步增长,第一季度物联网业务营收8.40亿美元,同比增长17%,第二季度营收为8.80亿美元,去年同期增长22.2%,推动整体营收依旧强劲。

踏着这股浪潮,英特尔作为芯片巨头,对物联网战略布局越来越清晰,且围绕生态大肆投资相关创新企业,仅今年在全球投资总额就超过1.15亿美元,推动人工智能、云、物联网和芯片技术发展。与此同时,围绕边缘计算中负载整合及计算视觉去构建针对物联网应用的芯片平台,从而在垂直市场推行端到端边云分布式计算架构以支持行业运用。

英特尔加速视觉零售发展,推动物联网在零售业落地

实现在边缘的人工智能-计算机视觉,诸如为安防、工业、零售等重点领域带来变革,在近日InfoComm China展上,英特尔就分享了视觉零售如何为物联网发展带来新机会,发布了针对自助式设备的英特尔Smart Kiosk Module(SKM)。

在英特尔看来,在数字化转型的浪潮中,零售业也迎来变革机遇,零售业正在利用物联网技术推进实体店铺数字化改造,增强店面场景化、立体化、智能化展示功能,而这也正是英特尔倡导视觉零售的重中之重,即数字标牌、教学及办公场景中使用的交互式白板、公共信息亭等为代表的视觉零售的重点场景,以标准化方式整合零售硬件、软件、API和传感器,通过高度灵活、可扩展的创新解决方案,加速视觉零售的进程。

半导体加速物联网落地,英特尔加速零售变革

英特尔物联网事业部副总裁Jose Avalos指出,物联网经过几年的发展,下一个阶段发展将会是产品或者方案自治或者无人化状态。要做到无人化,要做到自主或者自治,首先这个产品或者设备,必须对这个世界有感知力,通过这种感知得到大量的数据,通过对数据的深度分析,能够做出实时的决定。总而言之,下一阶段人工智能发展趋势主要包含几个因素有感知,比如说机器视觉、智能分析Analytics、包括深度学习。

而英特尔为自助式设备首次为行业带来了Smart Kiosk Module(SKM),英特尔SKM提供模组化的一站式解决方案,具备可扩展性和可维护性,可形成标准化,该模组可广泛运用于银行、商超、医疗等相关领域。

在深圳信步科技副总经理叶志辉看来,英特尔SKM大家可以把它理解为一张显卡,即插即用,比如说建行的智慧柜台,智能终端都有人脸识别的功能,这个机器大家用起来可能很方便,但是在后面它可能有20到30个外设挂在上面,其实是一款很复杂的智能设备。而SKM的魅力和优势在于,假设某一产品的SKM是另外一个模块,我可能可以很方便拿一个模块,往上一换就可以了。

叶志辉进一步指出,SKM最重要的特点是它可以提高效率、降低成本,因为它是一种基于板集的模块化设计,所以它可以缩短我们产品的开发周期,并且可以提高产品的稳定性,这种灵活的搭配可以让你很轻易的面对客人不同的需求,可以降低你新产品导入的一个风险。

英特尔可以为业界提供满足计算需求、高性能并且价格合理的视觉解决方案,以英特尔SKM、英特尔SDM、会议解决方案为重点的三大领先技术,并发挥生态优势为视觉零售行业带来源源不断的创新活力,这三大方案加也将速视觉零售发展进程。

最后

半导体是推动物联网产业发展核心动力之一,依托强大芯片计算能力,提升云服务能力,丰富的应用带来了物联网蓬勃发展,也看到了在英特尔积极推动下,在零售、金融和安防等垂直领域得到了广泛应用,从芯片到云计算(数据中心)再到边缘计算,并利用AI能力,向开发者提供AI工具套件,以此提升各种智能设备感知能力,从而促使英特尔物联网集团业务持续增长,也加速了物联网时代的到来,开启智能新时代。

作者系《剑指物联》杨剑勇,物联网资深人士,获得“网易2017年度最佳签约作者”,致力于深度解读IoT和AI等前沿科技,基于对未来物联网洞察和对趋势判断,其观点被众多权威媒体和知名企业引用。

来源:杨剑勇



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