实验室自动配液机（灌装机）CSE-LIQOUR-II

　　随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高，传统的人工手动配液、补液逐渐由自动配液取代。

　　然而，在湿制程工艺实验以及生物配药实验等实验验证的过程中，大多数还保持着采用量筒量杯逐一调配制程药液的方法。采用人为手工配置药液不仅精度得不到保证，而且化学品大多有腐蚀性、毒性等特点（如硫酸H2SO4、硝酸HNO3、磷酸H3PO4、盐酸HCL、氢氟酸HF、缓冲氧化物刻蚀液BOE等酸性溶液；氨水NH4OH、氢氧化钾KOH等碱性溶液；NMP溶液、丙酮、甲醇、IPA等有机液），在配比过程中对操作人员具有一定的危险性。

　　为解决实验室手动配液的弊端，华林科纳（江苏）半导体设备有限公司开发研制了新型实验室自动配液机（灌装机）CSE-LIQOUR-II。此配液机专为化学生物制药工艺实验室设计，是用来满足药液自动配比的设备，通过称重、流量计准确计量、气压输送或注塞抽取等方式将药液按照比例输送，配液精确度能够达到2‰。

　　该设备操作自动化，质量好，能预防药液污染。适用于半导体清洗和药厂配制普通液体药剂等用途，具有以下优点：

　　1）操作安全：系统应具有抗腐蚀性、毒性、耐压、防燃防爆等功能，保证操作者安全；

　　2）兼容性：与化学品接触部分完全与输送化学品兼容，对化学品零污染；

　　3）自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化；

　　4）精确配比：系统连续供液（配液、补液）过程中准确可靠，脉动性较好；

　　5）泄漏警报：检测泄漏及紧急关闭系统(E-MO)；

　　6）其他：系统自诊断及管路维修保养功能。

　　作为湿制程设备专业制造商，华林科纳（江苏）半导体设备有限公司对实验室自动配液机（灌装机）CSE-LIQOUR-II的成功研发，为湿制程工艺实验室或生物配药实验室的精确配比，提升实验人员的实验效率提供了有效的保障。

　　*设备主要技术参数：