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产品名称:

花篮/片盒清洗机-CSE

上市日期: 2016-12-05

 花篮/片盒清洗机-华林科纳CSE

 花篮-片盒清洗机-CSE1.jpg

完美适应当前所有型号的花篮和片盒、传输片盒、前端开口片盒 (Foup片盒)的清洗和干燥系统


优点

装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒—或不同晶圆尺寸的花篮和片盒,同时可装载晶圆直径至300mm的前端开口片盒(Foup片盒) 三种设备尺寸满足客户特殊需求

> CleanStep I – 用于4组花篮和片盒 加载和清洗能力:每次4组花篮和片盒 清洗产能:每小时12组花篮和片盒

> CleanStep II – 用于8组花篮和片盒 加载和清洗能力:每次8组花篮和片盒 清洗产能:每小时24组花篮和片盒

> CleanStep III – 用于6组前端开口片盒(Foup) 加载和清洗能力:每次6组前端开口片盒(Foup片盒) 清洗产能:每小时18组前端开口片盒(Foup片盒)

> 适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼 (Cleanstep I/II)

> 适用于所有片盒一次清洗过程

> 或是同时4组花篮和片盒,或是12个花篮(Cleanstep I/II)

> 简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换 > 旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒

> 通过控制系统对自锁装置的检测,达到安全加载片盒和花 篮,及其运行


1001.png

特征和优点

可应用不同化学品(稀释剂)来清洗

> 泵传输清洗液

> 计量调整可通过软件设置控制操作

热水喷淋装置

> 热水一般由厂务供应 — 标准化

> 或有一个体积约100升的热水预备槽(循环泵和加热棒用于热水预备槽—选项)


 笼子

> 带有可变速旋转的控制的高扭矩伺服电机(按照加载量和设备配置,最大旋转速度200rpm,) > 旋转的不锈钢笼子

> 会自动停止工作(运行过程中出现失衡状态时)

热空气干燥

> 顶端吹下热空气

> 采用根据设备待机和工艺运行模式的可调风量的风扇装置

> 不锈钢架上装有加热器,可以温度控制

> 软件监控温度

> 带有反压控制的高效过滤器


辅助功能和操作控制

> 触摸屏安装在前面—标准化

> 也可以通过安装第二个触摸屏在背面进行控制—选项


其他特征

> 工艺腔室内LED灯光照明

> 可安装去静电装置和电阻率监测装置——选项

> 稳定、亚光不锈钢笼子

> 材料的外壳—可选择符合FM4910标准

> PP材料的工艺腔室—可选择符合FM4910标准

> 设备前面带有滑动门—标准化为手动/可选择自动

> 设备前面的滑动门在做维护时可完全打开

> 其他种类的花篮和片盒相适应的组件—选项


图形化的界面

> 易于操作和控制

> 10“触摸屏PLC控制器

> SECSII GEM接口—选项

> 授权访问的密码保护

> 可以编辑40多个菜单,每个菜单可有50步

> 可变量数据输入(时间、温度、速度等)

> 设备背面安装第二个触摸屏—选项


更多的花篮和片盒清洗机设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体清洗解决方案。

 

1.概述

1.1 设备概况:

主要功能:本设备主要手动搬运方式,通过对片盒化学液体浸泡、冲洗、漂洗、鼓泡、快排等方式进行处理,从而达到一个用户要求的效果。

1.1.1 设备名称:花篮和片盒清洗机                                                               1.1.3 整机尺寸(参考):约1700mm(L)×1400mm(W)×2000mm(H);

1.1.4 操作形式:手动

1.2 设备组成

该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成  1.3 设备描述

l 此装置是一个动的处理设备

l 设备前上方有各阀门、工艺流程的控制按钮、指示灯、触摸屏(PROFACE/OMRON)、音乐盒等,操作方便;

l 主体材料:德国进口10mmPP板,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐;

l 台面板为德国10mm PP板;

l DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材,需满足18MW去离子水水质要求;

l 采用国际标准生产加工,焊接组装均在万级净化间内完成

l 排风:位于机台后上部

l 工作照明:上方防酸照明

l 安全考虑:

1. 设有EMO(急停装置)

2. 强电弱点隔离

3. 所有电磁阀均高于工作槽体工作液面

4. 设备排风口加负压检测表

5. 设备三层防漏  盘倾斜  漏液报警  设备整体置于防漏托盘内

二、设备结构及主要工艺概况

2.2台面布局:操作台面高度为950mm,适合于身高为1550到1800mm人员操作。

 

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