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产品名称:

全自动湿法去胶清洗机-CSE

上市日期: 2016-11-02

全自动湿法去胶清洗机-南通华林科纳CSE

华林科纳CSE湿法处理设备是国内最早致力于集成电路湿法设备的研制单位,多年来与众多的集成电路生产企业密切合作,研制开发出适合于4-8吋的全自动系列湿法处理设备

 全自动湿法去胶清洗机-CSE

设备名称

南通华林科纳CSE-全自动湿法去胶清洗机设备

设备概况

尺寸(参考):约3500L*1500(W)*2000(H)(具体尺寸根据实际图纸确定)

清洗件规格:一次性可装8寸晶片25pcs

典型生产节拍:5~10min/篮(清洗节拍连续可调)

门:不锈钢合页门+PVC视窗

主题构造特点

设备由于是一个腐蚀的环境,我们设备的排风方式,台面下抽风,每套工艺清洗槽都有自动开闭的槽盖,槽盖下有单独的抽风装置。

设备结构外型,整机主要由机架、工艺槽体、机械手传输系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。

由于工艺槽内药液腐蚀性强,设备需要做防腐处理:1设备机架采用钢结构骨架包塑;2壳体采用镜面SUS316L不锈钢焊接,制程区由耐腐蚀的SUS316L板材组合焊接而成:3电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区完全隔离;4槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料;5机械手探人湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处理。

应用领域

集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等

设备制造商

南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037

更多全自动湿法去胶清洗机设备可以关注南通华林科纳半导体设备官网www.hlkncse.com;现在咨询400-8768-096,18913575037可立即免费获取华林科纳CSE提供的全自动湿法去胶清洗机设备的相关方案

 

1.设备概况

l 设备名称:金属去胶清洗机                                                                                                                         l 整机尺寸(参考):约2300mmL×1400mmW×2000mmH

l 硅片尺寸:2寸~6

l 工作环境:室内放置;

l 操作形式:手动

l 重量:650Kg( 大约)

2.整机构造

l 骨架:德国进口10mmPP板,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐;

l 外壳:德国进口10mmPP

l 安全门:采用透明上下推拉门;

l 管路:管路位于下后部,以节省空间,采用英制接口;

l 灭火系统:烟热感应CO2自动灭火系统位于工作台面上部;

l 排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量调节装置;

l 工作照明:机台上方配照明(与工作区隔离);

l 台面板为优质不锈钢材质(带有漏液孔);

l DI/N2 GUN:可伸缩的DI水枪和气枪各2把,分置于工作区两侧;

l 人机界面:Touch Screen彩色界面;

l 支脚:有滑轮装置和固定装置,可调整高度和锁定;

l 三色报警等和蜂鸣器

3.控制系统

l PLC可程式控制器(欧姆龙)+Touch Screen彩色人机界面操作。

l 制程参数皆采用可设定、修改;

l 操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。

l 配有独立配电箱,电路区进行功能分块,强电、弱电块,以便于维护;

l Password功能以避免操作人员误改参数:

Password-1.启动及可进入自动模式內容。

Password-2可进入编辑模式修改制程参数。

Password-3可进入手动模式。

4.安全保护

l 设备采用耐腐蚀导线并采用氟套管进行保护,防腐防水;

l 设有防漏电断路保护装置;

l 电控部分正压空体保护,防水防腐;

l 设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统;

l EMO 装置紧急按钮开关;

l 蜂鸣器声鸣提示工作完成,三色报警灯及蜂鸣声光故障报警;

l 烟热感应CO2自动灭火系统位感应到烟热后自动灭火保护;

l 机台底部设有防漏盘及漏液感知;

l 液位异常感知/安全液位保护;

l 加熱过温保护和防干烧;

5.工作位参数


工序

辅助

处理液

温度

材质

抽风

1

超声加热槽

加热

石脑油,丙酮,异丙醇

100

316

2

超声加热槽

加热

石脑油,丙酮,异丙醇

100

316

3

超声加热槽

加热

石脑油,丙酮,异丙醇

100

316

4

超声加热槽

加热

石脑油,丙酮,异丙醇

100

316

5

超声加热槽

加热

石脑油,丙酮,异丙醇

100

316

6

IPA

/

IPA

RT

316

7

QDR

鼓泡+溢流

DI

RT

NPP

8

QDR

鼓泡+溢流

DI

RT

NPP

9

QDR

鼓泡+溢流

DI

RT

NPP

10

QDR

鼓泡+溢流

DI

RT

NPP

11

QDR

鼓泡+溢流

DI

RT

NPP

12

烘干槽

加热

氮气

60120

316


 

 

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