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Products 产品详情
产品名称:

兆声清洗机-CSE

上市日期: 2017-03-21

半导体兆声清洗机—华林科纳CSE

 Mega sonic cleaning machine

南通华林科纳CSE-兆声清洗机 适用于硅晶片 蓝宝石晶片 砷化镓晶片 磷化铟晶片 碳化硅晶片 石英晶片

可处理晶片尺寸2"-8"

可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;

主要应用领域:半导体 太阳能光伏 液晶

兆声清洗机-CSE兆声清洗机-CSE

 

设备名称

CSE-兆声清洗机

类型

槽式

尺寸(参考)

约3500(L)×1350 (W)×2300mm (H)

清洗件规格

4” 2篮50片

设备净重

1T

运行重量

1.5T±10%

电源

380v 50hz

功率

70kw

槽体尺寸

200mm*400mm*260mm

槽数

6

操作方式

手动/半自动/全自动

适用规格

2英寸-8英寸

适用领域

半导体、太阳能、液晶等

 

设备稳定性

1、清洗良品率≥99%

2、≥0.2um颗粒少于10

 

 

产品简介

1

设备机架采用不锈钢骨架外包PP板,耐酸碱腐蚀;

2

电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区完全隔离;

3

槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料;

4

机械手探入湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处理;

5

设备排风采用顶部百级FFU送新风,台面下抽风,每套工艺清洗槽都有自动开闭的槽盖,槽盖下有单独的抽风装置,排风口处设有自动调节风门,即上电打开风门,断电关闭风门,具有风压检测功能,以及氮气、压缩空气压力报警功能;

6

溶液槽中药液自动供液按设定好比例混合,并可在工作过程中根据设定补液;客户根据自身工艺条件自行设定;

7

台面为多孔结构,便于台面上冲洗水、液的排出;

8

操作面设有透明PVC安全门;

9

设备设有漏电、急停、液位、过温、安全门开、漏液、超时等保护和报警装置,保证设备的安全可靠;

10

配备有进口PFA,水、气枪各一。

 


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