沟槽腐蚀机-CSE
概述
1.1 设备概况：
主要功能：本设备主要手动搬运方式，通过对si片腐蚀、漂洗、等方式进行处理，从而达到一个用户要求的效果。
1.1.1 设备名称：沟槽腐蚀机
1.1.2 设备型号：CSE-SC-N601
1.1.3 整机尺寸(参考)：约2000mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)；
1.1.4 被清洗硅片尺寸：5寸/6寸
1.1.5 设备形式:室内放置型;
1.1.6 操作形式：手动
1.2 设备组成
该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成
设备工艺走向：参照本方案台面布局图
1.3 设备描述
●此装置是一个半自动的处理设备。
●8.0英寸PROFACE 人机界面显示 / 检测 / 操作
●主体材料：10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；
●化学槽槽体材料：德国劳士领 10mm PVDF板；
●纯水槽槽体材料：德国劳士领 10mm NPP板；
●台面板为10mm PP板（带有菱形漏液孔）；
●DIW主管路及构件采用日本进口clean-PVC管材，支管路及阀件采用PFA材质，需满足18M去离子水水质要求；酸 碱管路材质为进口PFA/PVDF；
●采用国际标准生产加工，焊接组装均在万级净化间内完成
●排风：位于机台后下部
●工作照明：上方防酸型白光照明
●欧姆龙/三菱 PLC控制。
●安全考虑：
1. 设有EMO(急停装置)，
2. 强电弱点隔离
3. 所有电磁阀均高于工作槽体工作液面
4. 电控箱正压装置（CDA Purge）
5. 设备三层防漏 楼盘倾斜 漏液报警 设备整体置于防漏托盘内
6. 排放管路加过滤装置
7 排液按钮具有连锁功能。启动排液时，同时切断泵启动。
8 槽内配液位开关，无液不循环。
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