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产品名称:

甩干机—华林科纳CSE

上市日期: 2017-04-06

甩干机—华林科纳CSE

Spin-dry machine

 

图1.png

设备名称

CSE-甩干机

主要功能

晶圆或器件的清洗甩干

腔体数量

单腔/双腔/四腔

尺寸(参考)

L×D×H=面宽480mm×纵深820mm×高度1750mm

清洗件规格

4寸/5/寸6寸/8寸等尺寸晶圆或器件

操作流程

人工上货→DI喷洗加转子旋转→HOTN2吹干加转子旋转→加速旋干含舱体加热保温→完成设备预设之制程结束。

工作转速

300—2400r/min

主体构造特点

外观材质本体以W-PP10t板材质组焊组合。

设备骨架SUS25*25*1.2T骨架组合,结构强固。

作业视窗视窗采透明压克力材质,有效掌握作业情况。

管路系统:OneChamber模块化。

排风系统间接式抽风设计,有效稳定空气扰流,并同时减低异味。

机台支脚具高低调整及锁定功能。

机台正压保护N2正压保护。

机台微尘控制量:<80AddedAt0.2MicronorBetter

无刷伺服电机

去静电

 

 

氮气控制单元

1)管件阀门:SMC电磁阀、PFA高纯管件、PTFE气动阀门。

2)氮气加热功能:不锈钢加热器在线加热

3)低压氮气功能:待机时,保持腔内正压,防止污染。

DIW控制单元

1)采用旋流式冲洗喷嘴。

2)排水口安装电阻率探头,对腔体排水水质进行监测。

3)冲洗工艺完成后,氮气将残留在冲洗管路内的去离子水吹净。

4)待机时,保持回水盒内有水流入且流量可调。

电控单元及软件系统

1)控制器操作界面:5.7记忆人机+PLC可程序自动化控制器(人机TouchScreen)

2)软件功能编辑/储存制程/维修/警示/编辑/配方/,皆可从操作荧幕上修改。

3)储存能力记忆模块参数记忆配方设定。

 


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