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始于90年代末

湿法制程整体解决方案提供商

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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。南通华林科纳CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称南通华林科纳CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 南通华林科纳CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最大晶...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE南通华林科纳半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system南通华林科纳CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注南通华林科纳半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称南通华林科纳CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
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镀膜后清洗机

时间: 2021-03-03
点击次数: 6

镀膜后清洗机

一、入料→切液1→溶剂滚刷洗→切液2DI水喷淋洗→DI水超声波清洗→DI

水滚刷洗→切液3BJ清洗→DI水喷淋洗→DI水冲洗→风刀干燥→下片含

除静电装置

循环使用并溢流水方向:

DI水冲洗(可控制入水量1015L/Min范围)DI水喷淋洗B(水箱)BJ

清洗(水箱)DI水滚刷洗(水箱)DI水喷淋洗A(水箱)→排水管

二、清洗工件规格及描述

基板尺寸:250mm×250mm(最小);650mm×650mm(最大)

基板厚度:0.41.1mm

ITO玻璃特征:玻璃表面已双面镀了ITO,经本设备清洗后到需方的设备进

行喷油()等表面处理.

三、设备的能力

输送高度930±30mm百级间高度

工作宽度700mm(有效最大:650mm)

传动方式伞齿轮传动(外传动)

输送速度1~3m/min(变频无级可调)(客户正常使用:2.5~3m/min)

输送方向左进右出

设备尺寸9615()1580()1300()(mm)(不含电控柜,风柜)

四、耗用资源

总耗电量182KW

总耗气量20003000NL/Min由客户提供0.4MPa以上的洁净压缩空气

纯水耗量1015L/Min由客户提供15兆以上纯水

总抽气量80M3/Min压力≥750Pa由客户提供抽风系统

五、其它选项

()用电安全

1.设备采用三相380V,50HZ,并且设备接地.

2.设备电控柜总电源开关采用“三菱”漏电保护开关.

()操作要求

1.人机界面采用“三菱”触摸屏,方便操作及历史故障查讯纪录.

2.每组上下喷管压力分别调整,以便到达最佳喷淋效果.

3.变频器调速:传动系统,滚刷装置

4.每组风刀均设计高度表示刻度.

5.设备的所有过滤系统分别有压力显示,以便观察泵浦的工作情况及滤芯

的更换是否.

()电控系统

1.设备的入口设计感应开关以便在超时间(按三分钟设计)无入片情况下加

热、水泵、气源等主要功能会停止达到省水、电设计.

2.过温保护:喷淋液温设计上限60

3.泵浦保护:设计水箱低液保护

4.上下片端部分别设置急停开关、暂停、起动开关,方便在生产及保护设

,设备的中部设计急停开关.

六、主要规格

1.滚轴间距:65mm(出料段为70mm、风干段为:50mm)

2.机身结构

机架材质:SUS304型材:50×50×σ2方管

槽体材料:SUS316L钢板&=4mm

3.储液箱

材质:SUS316L钢板&=1.5mm

4.输送滚轮

材质:SUS316L轴芯,轮面丁晴橡胶(滚刷段超声段)表面无气孔

SUS316L轴芯,入料喷淋风切段采用UPE滚轮,风刀干燥及出料

段采用UPE滚轮

滚轮规格:φ16㎜轴芯,外径:φ32

5.传动齿轮:进口蓝色MC尼龙齿轮与钢齿轮传动

6.主传动轴

材质:进口轴承钢

规格:φ20

7.管道系统

进水管:1SUS316L钢管

喷淋管:3/4SUS316L钢管

排水管:1SUS304钢管

总排水管:2.5SUS304钢管排水口预留2.5〞内牙接口

七、主要要求

1.PLC及触摸屏使用日本三菱公司产品

2.温控器使用欧姆龙公司产品

3.变频器采用日本三菱品牌

4.气缸,节流阀采用SMC产品.

5.电线采用深圳金龙羽防腐线缆防水布线

6.光电开关采用OMRON传感器

7.三菱空气开关带30mA漏电保护采用'和泉'牌继电器

8.SUS304不锈钢机架,槽体材料SUS316L钢板&=4mm,储液箱材质SUS316L

钢板&=1.5mm电控箱材质SUS304钢板&=2mm所有储液槽有液位标识

9.总进水配不锈钢流量计流速可调

10.入料/出料

a)可排液到水箱

b)附紧急开关1组包括停止电机传动及启动

c)玻璃定位调节导向装置(用于人工发片时)

d)出料位置安装一组除去静电装置离子风扇

11.切液1切液2和切液3

a)气体温度为常温(切液1和切液2独立用一台风机切液3用一台

风机)

b)上下风刀与玻璃行走方向成0°共六对。

c)保证能切去大部分药液

12.滚刷

a)洗剂滚刷洗有6对滚刷和DI水滚刷有6对滚刷共12对

b)设置完善的喷淋水回流系统槽体呈锥形方便回收喷淋完的药

c)药液槽上方有漏斗加液

d)所有滚刷均由精密调节装置调节上、下与玻璃压紧量最大调节

5,上滚刷有百份表显示相对高度需简单易懂

e)滚刷段的槽体强度必须有效加强,为了加强滚刷段的槽体的强度,采用腔室内加支撑杆防变形及利于维护,支撑杆的直径

16-20mm;腔体外部滚刷固定座处加装4mm不锈钢板或铝板(目的

是加强整体强度和较少滚刷电机的振动).

f)滚刷要求可以从清洗槽内直接拆卸,滚刷两端为联轴方式。

g)滚刷毛加强确保品质以防止对ITO膜层的划伤.

h)滚刷电机和毛滚刷在公司做7天老化处理,以防止不良电机漏油、

品质不良、不良毛滚刷出厂

i)毛刷滚的回转数要能在50450rpm的范围内进行调整.

j)高度调整要在能够单独在一侧进行操作.

k)高度调整机构本身左右两侧不能有高度差.

l)安装要做成要不影响机械原点(±0.1mm以下)构造安装时也可

以采用相应的治具定位块等来辅助进行.

m)采用“三菱”数显式变频器来调节滚刷转速,可直接在触摸屏上

设定及显示转速。

n)洗剂滚刷洗、DI水滚刷洗,4条滚刷为1台变频调速,共配置6

台变频器;

o)所有滚刷段前后均有压滚轴。

13.压力喷淋:

a)喷淋采用上下喷淋喷口角度可调喷淋压力可调。

b)所有喷淋管采用SUS316L钢管尽量减少使用水胶布,并且加强

加工喷嘴管牙的管理.

14.BJ清洗

a)设有气体和液体压力

15.DI水冲洗

a)设有电磁阀用不锈钢流量计控制水阀入水

b)喷淋压力和角度可调。

16.风刀干燥

a)采用三对风刀干燥系统

b)分风器及风量调节阀

c)有加热装置保证玻璃干燥不吸水

17.循环系统及过滤系统

a)美国“小巨人”磁力泵或者德国“威乐”泵附近管道需加强

固定

b)SUS316L材质过滤器过滤器必须固定

c)所有泵浦吸入口均设有防止吸入碎玻璃、片状物、条状物粗过

滤头

d)加强水泵附近的管路和过滤器的固定,防止频繁的启动导致管

路松动引起的漏水.

18.水槽

a)设人工和自动补水功能

b)药液槽可拆洗有液位标识

c)储液槽采用自动补水有电磁阀控制有效防止液位晃动对补

水控制阀的影响

d)水槽外置300,以便于对其清洗.

19.安全报警

a)无入片三分钟情况下自动待机产能统计、自/手动切换功能

b)卡片、叠片、液位过高/低、温度过高/低报警功能

c)I/O监视系统可复位在报警解除后可对报警信息进行删除

20.电器

a)人机界面三菱10.4”彩色触摸屏,触摸屏控制采用“日本

三菱PLC可编程控制器控制全操作过程可实现手动/自动

切换操作可设置控制工艺参数可预存10套以上产品工艺

b)控制补液和加热异常情况实现紧急停车并设置声光报警设

备两端设置急停按钮和报警装置程序不加密方便维护人员

检查和监视程序运行温度及超声功率参数可调节和锁定

c)控制按钮有带灯按钮开关泵、电机、循环、加热系统单独开

其状态显示在控制面板,独立电控箱电路方面进行功能

分块强电、弱电分块便于维护

d)各种电缆采用耐用防腐电缆防水管道布线预留足够20%

长度

e)使用SMC电磁阀

f)整機歐姆龍近接傳感器、溫控器、PT100溫度傳感器Idec

RUS-D24中間繼電器西門子、富士接触器、断路器接觸器

使用施耐德品牌各器件拆裝方便便於維修保養

g)所有控制信號全都入PLC進行邏輯處理不得電器連線互鎖

信號線與電源線分線槽、屏蔽、隔離架空布線電氣圖详细准

与实物对应清晰各器件、線徑、線號、交直流線路標識

齊全使用固態繼電器進行加熱控制(不是接觸器)各變頻器

RS485PLC通訊連接

h)各电器电路图设计须经双方审核确认

i)设备方向为左进右出,电器控制柜距离主设备左侧<3米。

j)线槽设置在机架下部.

21.整机

a)管道尽可能实用焊接工业只是为了运输机器维修和运输方便的

部分才用法兰连接

b)每个槽均设排液口也便维修清理排液口装有可拆卸式不锈钢

防止零件脱落或玻璃进入管道中堵塞管道

c)各器件拆裝方便便於維修保養整機所有信號均使用24VDC傳送

主機中電器均使用IP65以上防水

d)全不锈钢电控柜。清洗機機身至少三處獨立接地(國標阻抗)

e)设备为组合式结构,便于运输和安装。

22.设备外罩:

a)门板采用透明PVC板。

b)盖用用透明PVC板。

23.设备设有抽风口

a)由客户自行连接抽风总管及抽风总管,以减少设备产生的雾气对设

备及环境的影响)

b)设有单独的排气室作为缓冲区域,配有排气阀1,水气分溜器,风量

调节阀.

24.主传动的轴承座要用可调节高低的轴承座,避免轴承憋坏和直线差.

25.风干段的过滤系统,杜绝因过滤器泄漏产生的灰、粉类异物.

26.主传动齿轮处加装防护罩板

27.整体噪音控制在82dB以下。

28.主供水管上合理配置两把手动塑料喷枪(含网管),在最后一道为DI水冲

洗段加装电导率表及流量计.

八、设备各工艺段说明

1.入料

一.规格

01工作长度700

02管路DN40|

03排液到水箱

二.配置

01附紧急开关1组包括停止电机传动及启动

02三色指示灯显示在控制柜上

03玻璃定位调节导向装置(用于人工发片时)

2.切液12

一.规格

01.工作长度260㎜260

02.切液结构

风刀排列方式上下风刀与玻璃行走方向成0

风刀SUS316L4(两对)

高压风泵3.8KW1台四把风刀用一台风泵

过滤系统中效无隔板过滤器

配置调节阀

03.气体温度为常温

04.能力:保证能切去大部份药液

3.洗剂滚刷洗

01.工作长度1730

02.喷淋结构

喷嘴6504SUS316L伞型喷嘴

喷嘴压力/流量0.61kg/cm2,0.65~0.91L/min

喷管材质SUS316L14(上下各7)

压力表使用压力0~4.0kg/cm2

4(上下各喷淋管各1,

滤器前后各1)

喷嘴排列方式7/8只排列

喷嘴泵浦美国“小巨人”磁力泵1080W1

过滤系统20μ

过滤器250㎜×12(SUS316L材质)

水槽容量180L(设超温保护及人工/自动补水;水槽外贴带铝膜的

保温棉,)

液位计HLLL

03.温控系统

加热器:8KW×3(SUS316L)

温度控制E5CZQ2PT100温度可调整可校正(设备最大使用

温度:60)

04.滚刷装置

滚刷马达90W×6

滚刷转数100~450±50/分种

滚刷轮美国“杜邦”尼龙丝NL66、φ0.10.15㎜规格

φ70×700(值毛式滚刷)

滚刷轮排列方式上、下对刷共12

驱动方式联轴器直连式

05.PH控制“GF”控制器+PH值过低或过高时均接入PLC,输出报

警信号.

4.DI水喷淋洗

一.规格

01.工作长度390

02.喷淋结构

喷嘴6504SUS316L伞型喷嘴

喷嘴压力/流量1.53kg/cm2,1.1~1.31L/min

喷管材质SUS316L4(上下各2)

压力表使用压力0~4.0kg/cm2

4(上下各喷淋管各1,

滤器前后各1)

喷嘴排列方式7/8只排列

喷嘴泵浦“威乐”不锈钢泵750W1

过滤系统10μ

过滤器250㎜×11(SUS316L材质)

水槽容量100L(设超温保护及人工/自动补水;水槽外贴带铝膜的

保温棉,)

液位计HLLL

03.温控系统

加热器:8KW1(SUS316L)

温度控制E5CZQ2PT100温度可调整可校正(设备最大使用

温度:60)

5.DI水超声波清洗

一.规格

01.工作长度910

02.超声系统振板上下结构安装

震板规格460㎜×340㎜×110

震板材质SUS304σ2

超声功率1800W×4(HKD-1036P)

超声频率40KHZ

震板结构震板内粘超声震子:24/

数量:4

喷嘴泵浦“威乐”不锈钢泵1.1KW1

过滤系统5μ

过滤器250㎜×51(SUS304材质)

水槽容量200L×1

液位计HML

03.温控系统

加热器:8KW×2(SUS316)

温度控制E5CZR2PT100温度可调整可校正

6.DI水滚刷洗

01.工作长度1730

02.喷淋结构

喷嘴6504SUS316L伞型喷嘴

喷嘴压力/流量0.61kg/cm2,0.65~0.91L/min

喷管材质SUS316L14(上下各7)

压力表使用压力0~4.0kg/cm2

4(上下各喷淋管各1,

滤器前后各1)

喷嘴排列方式7/8只排列

喷嘴泵浦美国“小巨人”磁力泵1080W1

过滤系统5μ

过滤器250㎜×12(SUS316L材质)

水槽容量150L(设超温保护及人工/自动补水;水槽外贴带铝膜的

保温棉,溢流到DI水喷淋洗

液位计HLLL

03.温控系统

加热器:8KW(SUS316L)

温度控制E5CZQ2PT100温度可调整可校正(设备最大使用

温度:60)

04.滚刷装置

滚刷马达90W×12

滚刷转数100~450±50/分种

滚刷轮美国“杜邦”尼龙丝NL66、φ0.10.15㎜规格

φ70×700(值毛式滚刷)

滚刷轮排列方式上、下对刷共12

驱动方式联轴器直连式

7.切液3

一.规格

01.工作长度260

03.切液结构

风刀排列方式上下风刀与玻璃行走方向成0

风刀SUS316L2(一对)

高压风泵1.5KW1

过滤系统中效无隔板过滤器

配置调节阀

03.气体温度为常温

04.能力:保证能切去大部份药液

8.BJ清洗(二流体喷淋洗)

一.规格

01.工作长度390

02.喷淋结构

喷嘴“裕盛”SUS316LSS6010YS二流体伞型喷嘴

喷嘴压力/流量(液体)2.04.0kg/cm2,1~2L/min

喷嘴压力/流量(气体)2.04.0kg/cm2,36~52L/min

喷管材质SUS316L4(上下各二条)

压力表(液体)使用压力0~6.0kg/cm2

4(上下各喷淋管各1

,过滤器前后各1)

压力表(气体)使用压力0~6.0kg/cm2

1

喷嘴排列方式间隔50㎜一个,每条喷管14,28

喷嘴泵浦“威乐”不锈钢泵1500W1(泵浦压力大于4.0

kg/cm2

过滤系统(液体)1μ

过滤器(液体)250㎜×11(SUS316L材质)

过滤系统(气体)由客户提供洁净压缩空气,设备本身配SMC调压

阀、SMC油物分离器、SMC主过滤器.

水槽容量100L(设人工和自动补水,水槽外贴带铝膜的保温棉)

液位计HLLL

03.温控系统

加热器:8KW(SUS304)

温度控制E5CZQ2PT100温度可调整可校正(设备最大使用

温度:60)

9.DI水喷淋洗

一.规格

01.工作长度585

02.喷淋结构

喷嘴6504SUS316L伞型喷嘴

喷嘴压力/流量1.01.5kg/cm2,1~1.3L/min

喷管材质SUS316L8(上下各4)

压力表使用压力0~4.0kg/cm2

4(上下各喷淋管各1,

滤器前后各1)

喷嘴排列方式7/8只排列

喷嘴泵浦“威乐”不锈钢泵1080W1(泵浦压力大于2.0

kg/cm2)

过滤系统1μ

过滤器250㎜×11(SUS316L材质)

水槽容量100L(设人工和自动补水,水槽外贴带铝膜的保温棉,

溢流到BJ清洗段)

液位计HLLL

03.温控系统

加热器:8KW(SUS304)

温度控制E5CZQ2PT100温度可调整可校正(设备最大使用

温度:60)

10.DI水冲洗

一.规格

01.工作长度390

02.喷淋结构

喷嘴6503SUS316L伞型喷嘴

喷嘴压力/流量0.51kg/cm2,0.43~0.68L/min

喷管材质SUS316L4(上下各2)

压力表使用压力0~4.0kg/cm2

2

喷嘴排列方式7/8只排列

喷嘴泵浦“威乐”不锈钢泵750W1(泵浦压力大于2.0

kg/cm2)

过滤系统0.1μ

过滤器250㎜×11(SUS316L材质)

水槽容量100L(设人工和自动补水,且溢流到DI水喷淋洗B)

配置:流量计和电导率表

11.风刀干燥

一.规格

01.工作长度960

02.切液结构

风刀排列方式前两对风刀与玻璃行走方向成25~30.后一对风

刀与玻璃行走方向成0

高压风机5.5KW13.8KW1

风刀SUS316L6

加热功率1.5KW1

过滤系统初、高效过滤器(配风柜,烘干室净化度要求100

0.3μ)风柜使用SUS304钢板1

配置:分风器及风量调节阀

12.下片(含除静电装置)(百级间内)

一.规格

01.工作长度1050

二.配置

01.附紧急开关1组包括停止电机传动及启动

02.入料口加装一块透明板300mm宽。


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