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湿法制程整体解决方案提供商

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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。南通华林科纳CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称南通华林科纳CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 南通华林科纳CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最大晶...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE南通华林科纳半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system南通华林科纳CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注南通华林科纳半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称南通华林科纳CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
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半导体行业最新新闻资讯2016.12.27

时间: 2016-12-27
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 半导体行业最新新闻资讯2016.12.27


韩媒:中国半导体正在加快崛起 有望赶超韩国

韩媒称,在1年多的时间里,中国半导体专业设计公司增加到了之前的2倍之多。市场调查机构集邦科技21日透露,中国半导体设计公司从去年初的736家,增长到了现在的1362家。压倒性地超过了几年来一直在200多家规模上原地踏步的韩国,实现了急速增长。

韩国《朝鲜日报》网站12月22日报道,中国半导体正在加快崛起,在存储芯片工厂建设方面投资了几十万亿韩元,还在倾尽全力培育相当于半导体产业大脑的设计公司。半导体设计公司是专门设计电子回路的企业,技术人才是竞争力的源泉。不仅是存储芯片,在韩国相对薄弱的设计领域,中国也意欲上升至世界最高水平。中国对创业者给予破例的资金支持,大举召回在外国学习的本国半导体人才。半导体行业有关人士说:“中国展露出了跃升为涵盖设计和生产的综合半导体大国的野心。”

报道称,中国将视线转向了半导体设计领域,是为了掌握未来IT(信息技术)产业的主导权。半导体设计公司大部分以担当信息计算和处理的“系统半导体”为主业。系统半导体是PC和智能手机以及物联网、无人驾驶汽车等未来产业的核心技术,因此跨国半导体公司间的角逐异常激烈。

报道称,中国在半导体生产方面已经进行了天文数字的投资。在韩国名列世界第一位的存储(信息存储)芯片领域,今年初清华紫光集团和XMC分别宣布投资300亿美元和240亿美元进行工厂建设。今年7月,为了加强竞争力,两家公司干脆合并成立了长江存储科技有限公司。

有分析认为,由于中国拥有世界最大的内需市场,半导体产业将实现迅猛发展。

专家们还指出,韩国半导体产业应该摆脱只依靠三星电子、SK海力士的结构。这两家公司的半导体主打产品——动态存储器占据了世界市场70%以上的份额,但除此之外,韩国在半导体产业中的存在感微不足道。(出自:参考消息网)


晋华存储器集成电路项目下月中旬完成桩机施工

近日,记者从福建省晋华存储器集成电路项目施工处了解到,项目自开工以来,各项工作有序、向前推进,周边配套设施逐步完善,预计下月中旬完成桩机施工。

占地近40万平方米的晋华存储器集成电路项目地块位于新塘街道。昨日上午,项目施工现场一片忙碌景象,铲车、挖掘机、装载运输车辆等重型机械来来往往,工作人员不停走动着指挥施工。项目施工现场负责人小叶告诉记者,“目前,现场每天共有挖掘机20台、铲车6部、土方车100部、桩机6部,所有施工车辆共同协作,保证施工进度。”

据悉,晋华存储器集成电路项目是晋江产业转型升级的重要抓手,也是千亿产业扬帆起航的龙头项目,为此,项目派出“主力军”深入一线协调协作、增强施工力量,确保各项进度按计划有序推进。“我们现场保证近200名施工人员。”小叶表示,“目前的主要任务是加快进行土方开挖和桩机施工。这一阶段要完成的土方总量达到70万立方米左右,目前已完成80%,而桩机则要完成5500根,目前已完成70%。预计2017年1月中旬可以完成这一阶段的施工任务。”

在施工现场一侧,作为该项目配套的交通要道智造大道上,运送土方的车辆进进出出。据悉,智造大道总长3.1公里、宽48米,是项目园区主干道之一,建成后将有效改善周边交通环境。目前,该道路主要路段已基本施工完毕,相关配套的水、电、通信、绿化及排水渠建设等都已就位。此外,晋华项目园区配套设施晋华公园一、二期均已完工,二期工程正在完善。 “目前的施工进度较快,一些相关工作都在推进中。”小叶告诉记者,“下一阶段,项目组将进行基础筏板的施工。”(出自:海峡经济网)


“中国芯”的未来 国产自研CPU都有谁?

由于ZEN处理器还要一段时间才发售,现在的桌面CPU市场可谓百无聊赖啊,既然国外产品不给力,那么我们就来谈谈国产CPU吧!

国产CPU虽然大家基本都没用过,不过知名度却是不低,先有顶级超算天河,后有自研CPU龙芯,除此之外还有不少各具特色的国产U,下面一起看看到底有哪些自研的国产CPU吧:

1.龙芯—血统纯正的国产U

龙芯老实说不是最早国产U,也不是最成功的,但它偏偏知名度最高,各种电视新闻报道,中科院出身,血统纯正,名正言顺的成为国产CPU的代表产品。以计算角度来看,龙芯确实是比较纯正的国产CPU,但指令集依然不是自创的,使用的是MIPS的指令集,并在此基础上发展出了自己的一套规范。

龙芯之父胡伟武博士说过可以把CPU做到世界第一,但是指令集不同,软件无法使用,用户绝对是不会买账的,打造自己的软件生态系统花费巨大,无奈之下龙芯只好选择当时在大学、科研单位有良好基础的MIPS指令集。虽然指令集是别人的,但在龙芯的开发下,新加入了500多条自定义指令,运算效率极大提升,最新的龙芯3A3000单线程性能约为Intel I5 4460的三分之一。

纸面上虽然这样说,不过龙芯几乎没什么应用支持,只是个光杆司令单纯参数并没有什么参考意义,期待龙芯在桌面市场有所表现不怎么科学。不过军工航天领域倒是有大大的发展空间,15年发射的北斗双星就是搭载的龙芯,性能以及价格都远远优于进口宇航CPU,后续的国防航宇领域都会搭载国产CPU,相信这将是国产U的正确发展道路。

2.申威/飞腾—有军方背景的最成功代表

上面龙芯是中科院出身走的军工路,而申威和飞腾都是有军方背景研究设施的亲儿子,比起龙芯更理所当然的承担起国产军工CPU的制造任务。指令集方面,申威处理器使用的是Alpha架构,而飞腾在几经周转之下,最终选择了ARM V8指令集。

龙芯在桌面市场还有叫得出名字的产品,而申威则是专注超算领域,旗下的神威·太湖之光也打破“天河二号”的六连冠,问鼎世界超算第一,神威采用的CPU SW26010,260核心,Alpha 64位架构,性能几乎是天河2号的三倍,但总功耗反而更低了。而使用AMR架构的飞腾处理器则是在服务器CPU领域发力,旗下“火星”服务器CPU,全芯片性能与Intel Xeon E5-2699v3相当,早些年还在山寨Intel现在已经能与大哥相媲美,实属难得。

3.兆芯/海光—政策驱动下的后期新秀

上面说到的国产U都有个问题,就是不支持WINDOWS,想要快速研发出可以商用的CPU,还是要老实的走X86路线,可这是Intel的吃饭家伙啊,想要获得他的授权基本没可能,这可怎么办?此时,家有一老如有一宝,国产厂商很顺利的勾搭上风烛残年的台湾VIA,虽然VIA只剩下个壳子,但好歹还是有X86专利的,面对大陆的重金礼聘,自然乐意和大陆合作了。

兆芯公司是13年由上海国资委旗下的联和投资与VIA成立的,上海出资80%,VIA占股20%,说白了就是大陆出钱,VIA出技术,而目前的产品没一点和自主沾边的(除了名字),说白了就是贴牌,VIA 十年不更新的VIA Nano马甲,性能非常的寒碜,也看得出只要是老老实实的开发,技术封锁什么的根本不是事,完全可以达到国际水平,然而为什么这样摆明贴牌的U都能叫中国芯呢?原因在于国家政策——“核高基”,根据公开报道兆芯拿到的核高基补贴高达56亿,后续还在申请,总额高达70亿,老实说,即使兆芯今后再不务正业,未来5年也完全不愁吃喝。这里ZF又犯了急于求成的大忌,前些年自主研发的国产U收效甚微,为了加速发展,承认引进技术的企业,于是造就了这样毫无自主可言的“中国芯”。

说VIA缺钱,其实AMD也缺钱,于是今年AMD也向中国公司授权X86,授权公司为天津海光,AMD获得2.93亿美元的授权费,双方还会成立合资公司。即使是成立合资公司,前几年的产品依然是AMD的马甲U为主,但是AMD技术起码是有的,不像VIA兆芯起点如此之低,国内公司能否把AMD技术吃透,这就需要时间来验证了。

4.海思—民营芯片企业的佼佼者

华为的海思大家都不陌生吧,相比前面毛都摸不着的产品,海思的处理器大家可是天天在用的,除了海思,还有展讯、全志、瑞芯微等一众民营芯片企业,他们都没什么大背景,除了海思背靠华为这家大公司,其他的成绩完全是靠自己打拼出来的,进步也是非常大。

对企业商人来说,活下去赚钱才是硬道理,以市场为导向,选择当前最为热门的ARM架构,虽然前期都是贴牌,不过经过了几代的发展,最新的海思麒麟960已经达到了国际顶级水平,同时华为产品的高溢价也为海思留出充足的利润空间。

以上都是能拿出产品的企业,此外还有获得IBM Power架构授权的宏芯,MIPS授权的君正和X86授权的北大众志,不过他们的产品更多留在PPT或者是展示台上面,要单出拿出来说还欠点火候。

各架构优劣:

MIPS:“学院派”代表龙芯所选择的指令体系,虽然不是自创的指令集,不过龙芯这些年的开发已经完全超越MIPS范畴了,大可看成是龙芯自家的东西,在自主性方面是最好的。

不过,当前软件行业对MIPS体系的支持极为薄弱,即使龙芯多年来积极打造自己的软件生态系统,下游多达两百多家支援企业,生存环境依然举步维艰,如果国家真决定要使用龙芯产品,恐怕将要花费空前的资金去部署软件生态。

Alpha:“军方派”代表申威所选择的指令体系,鉴于Alpha相关专利大都过了保护期,申威完全可以自由使用,自主性也是有极大保障的。不过缺点依然和上面龙芯一样,软件支持极为缺乏,幸好申威走的是超算路线,并不急于打入主流市场。

ARM:“民营派”最喜爱的指令体系,产品广泛使用于智能手机和移动设备上,同时ARM架构体系成熟,软件支持丰富,易于开发成品和实现盈利,对国家资金扶持的依赖程度小。

在主流市场X86统治的情况下,ARM是当前最有力的竞争者,市场前景广阔。缺点在于国内企业需要定期向ARM购买授权,核心技术依然在ARM,国内企业缺乏自主性,安全性更是无从谈起。

x86:可谓“国资派”的最爱指令集了,拿来就能用,还能拿国家项目基础,也是美滋滋的。X86最好用,然而也是水最深的,长期使用很可能就被授权方掐脖子。

根据目前情况,X86的2家授权公司都有着不同情况的困境,对中国的技术开放相信也会进一步提升,考虑到目前国内情况,合作开发出符合ZF信息安全需求的产品,可谓“中国芯”最现实的发展道路。

“中国芯”的未来

在当前的技术环境下,建立全新的标准是非常艰辛的道路,根据实事求是精神,与国外合作开发合乎安全需求的X86处理器是当前比较现实的做法。与此同时ZF也应该扶持真正自主的CPU发展,例如龙芯和申威,即使当前软件支持十分脆弱,但“中国芯”的最终希望还是要落在它们身上。(出自:太平洋电脑网)


依赖中国的十大美企:思佳讯居榜首 高通第三

中美关系可能是世界上最重要的双边关系,尽管两国经贸往来摩擦不断,但相互之间高度依赖。根据高盛集团对2015年美国企业申报结果分析,有七家美国企业的中国营收占它们年收入的50% 以上,其中所占比重最大的思佳讯(Skyworks Solutions)83% 的年收入都依赖中国。

按照高盛“中国营收占公司年收入比重”排名,前十大美国企业一共十二家(有两个并列第四和第九),除了肯德基、必胜客的母公司百胜集团和在澳门开赌场、度假村的永利度假村两家非科技类的企业挤进了排行榜,其余十家全部是半导体企业!

思佳讯位居榜首,高通公司位居第三,依赖度高达61%;博通公司紧随其后,依赖度为55%。其余上榜美国半导体公司分别为美光科技、英伟达、安华高科技、应用材料公司、德州仪器、闪迪、微芯科技。

这一方面反映出中国科技市场的庞大需求,另一方面也可以看出半导体产业中国之弱、美国之强。尽管这是2015年的数据综合分析,但2016年并没有明显变化,半导体的产业发展规律决定了投资在短时间内看不到太大成效。根据权威研究机构IC Insights最新公布的2016全球半导体最新(预估)排名,美国有 8 家半导体企业进入前20,大陆半导体企业无一上榜。

中国正在大力推动半导体产业发展,大手笔的并购浪潮令全球为之震撼。但中美之间的差距依然如同难以跨越的鸿沟,半导体产业发展之路漫漫而长远。出自:C114中国通信网)


(项目来自网络,由华林科纳半导体论坛整理发布,内容仅供参考,谢谢!)


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