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发布时间: 2017 - 12 - 06
在LED外延及芯片制造领域,湿法设备占据约40%以上的工艺,随着工艺技术的不断发展,湿法设备已经成为LED外延及芯片制造领域的关键设备,如SPM酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE蚀刻、PSS高温侧腐、下蜡、匀胶、甩干、掩膜版清洗等。南通华林科纳CSE深入研究LED生产工艺,现已形成可满足LED产业化项目需求的全自动湿法工艺标准成套设备。 LED 芯片的制造工艺流程为:外延片→清洗→镀透明电极层→透明电极图形光刻→腐蚀→去胶→平台图形光刻→干法刻蚀→去胶→退火→SiO2 沉积→窗口图形光刻→SiO2腐蚀→去胶→N极图形光刻→预清洗→镀膜→剥离→退火→P 极图形光刻→镀膜→剥离→研磨→切割→芯片→成品测试。 CSE-外延片清洗机设备 设备名称南通华林科纳CSE-外延片清洗机设备可处理晶圆尺寸2”-12”可处理晶圆材料硅、砷化镓、磷化铟、氮化镓、碳化硅、铌酸锂、钽酸锂等应用领域集成电路、声表面波(SAW)器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先进封装等专有技术系统洁净性技术均匀性技术晶圆片N2干燥技术模块化系统集成技术自动传输及精确控制技术溶液温度、流量和压力的精确控制技术主要技术特点系统结构紧凑、安全腔体独立密封,具有多种功能可实现晶圆干进干出采用工控机控制,功能强大,操作简便可根据用户要求提供个性化解决方案设备制造商南通华林科纳半导体设备有限公司 www.hlkncse.com 400-8768-096 ;18913575037更多的外延片清洗设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncse.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体行业相关清洗设备解决方案。
发布时间: 2017 - 12 - 06
旋转式喷镀台结合微组装工艺对镀制工艺的小批量、多规格和特殊应用要求等特点,在6" (150mm)晶圆电镀系统中采用了倾斜式旋转喷镀技术倾斜式旋转喷镀单元分由两个部分组成,一为阴极夹具、旋转单元、导线电刷、N2 保护单元组成的阴极回转体,二为三角形槽体、阳极和电力线挡板组成的阳极腔。倾斜旋转喷镀结构示意图如下:从镀制结构方式、镀制工艺应用分析可以看出,采用倾斜式旋转喷镀有以下几种优势。一是这种结构方式易实现槽体密封和附加N2 保护功能。二是在这种镀制工艺中,阴极的旋转运动使槽内电场不均问题得以解决,从而提高了镀制的均匀性。三是呈45°倾斜加阴极旋转的方式,可以较容易的祛除晶圆表面的气泡附着及“产生”气泡的消除。四是采用了多微孔进行镀液喷射,实现搅拌功能,消除局部PH值、温度、离子浓度等不均匀带来的影响。五是采用三角形镀槽设计最大限度的减少了镀液的消耗。六是该镀制结构方式可以满足多品种、小批量、低成本的生产需求。倾斜旋转喷镀技术、工艺优势斜式三角镀槽结构本系统采用倾斜式三角形镀槽结构,镀槽入口溢流口均与三角形斜边平行,可得到稳定且不易积累气泡的流场环境。通过进行相关模拟、仿真和验证,镀液入口采用扇形喷咀式结构,可保证镀液在平行于阴极表面方向上形成均匀而稳定的流场。从而通过改变流场的方法改善了镀层的均匀性。该结构的另一优点可使电镀液的用量减至最少程度。 南通华林科纳CSE采用倾斜旋转喷镀方法进行晶圆电镀工艺处理,由于结构上的特点,该方法经实验验证具有:①结构简单;②工艺参数控制容易;③有利气泡的消除;④镀制均匀性得到提高;⑤镀制溶液用量少。该方法尤其适应于小批量、多规格的电镀工艺,同时可以取得较好的镀制均匀性。图6为我们所研制的150mm晶圆倾斜旋转喷镀系统,目前已批量生产并在工艺线上得到较好的应用,产品已通过技术定型鉴定和用户验收。实现的主要工艺指标:最大晶...
发布时间: 2016 - 06 - 22
双腔甩干机1. 应用范围:l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.   2. 操作流程3. 图示 4. 規格l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達: DC無刷馬達750Wl 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告 5. 電控系統l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。Ø 儲存能力記憶模組...
发布时间: 2016 - 03 - 07
枚叶式清洗机-华林科纳CSE南通华林科纳半导体CSE-单片枚叶式洗净装置的特长:单片式清洗装置的优点(与浸渍.槽式比较)1.晶片表面的微粒数非常少(到25nm可对应)例:附着粒子数…10个/W以下(0.08UM以上粒子)(参考)槽式200个/W2.药液纯水的消费量少药液…(例)1%DHF的情况  20L/日纯水...每处理一枚晶片0.5-1L/分3.小装置size(根据每个客户可以定制) 液体溅射(尘埃强制除去)  (推荐)清洗方法单片式装置的Particle再附着问题   更多的半导体单片枚叶式湿法腐蚀清洗设备相关信息可以关注华林科纳CSE官网(www.hlkncas.com),现在热线咨询400-8768-096;18913575037可立即获取免费的半导体清洗解决方案。
发布时间: 2016 - 03 - 07
自动供酸系统(CDS)-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-CDS自动供酸系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式设备名称南通华林科纳CSE-CDS自动供酸系统设备型号CSE-CDS-N1507设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在自动模式情形...
发布时间: 2018 - 01 - 23
单片清洗机-华林科纳CSESingle wafer cleaner system南通华林科纳CSE-自动单片式腐蚀清洗机应用于清洗(包括光刻板清洗)刻蚀 去胶 金属剥离等;可处理晶圆尺寸2'-12';可处理晶圆材料:硅 砷化镓 磷化铟 氮化镓 碳化硅 铌酸锂 钽酸锂等;主要应用领域:集成电路   声表面波器件  微波毫米波器件  MEMS  先进封装等  设 备 名 称CSE-单片清洗机类  型单片式适 用 领 域半导体、太阳能、液晶、MEMS等清 洗 方 式2英寸——12英寸设备稳定性1、≥0.2um颗粒少于10颗2、金属附着量:3E10 atoms/ cm²3、纯水消耗量:1L/min/片4、蚀刻均一性良好(SiO₂氧化膜被稀释HF处理):≤2%5、干燥时间:≤20S6、药液回收率:>95%单片式优点1、单片处理时间短(相较于槽式清洗机)2、节约成本(药液循环利用,消耗量远低于槽式)3、良品率高4、有效避免边缘再附着5、立体层叠式结构,占地面积小 更多的单片(枚叶)式清洗相关设备可以关注南通华林科纳半导体官网,关注http://www.hlkncse.com ,400-8768-096,18913575037
发布时间: 2017 - 12 - 06
氢氟酸HF自动供液系统-南通华林科纳CSEChemical Dispense System System 南通华林科纳半导体CSE-氢氟酸供液系统 适用对象:HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途:本设备主要用于湿法刻蚀清洗等制程工程工序需要的刻蚀液集中进行配送,经管道至设备;具有自动化程度高,配比精确,操作简便等特点;具有良好的耐腐蚀性能。控制模式:手动控制模式、自动控制模式 设备名称南通华林科纳CSE-氢氟酸(HF)供液系统设备型号CSE-CDS-N2601设计基准1.供液系统(Chemical Dispense System System)简称:CDS2. CDS 将设置于化学房内:酸碱溶液CDS 系统要求放置防腐性的化学房;3. 设备材质说明(酸碱类):酸碱溶液CDS外构采以WPP 10T 板材,内部管路及组件采PFA 451 HP 材质;4. 系统为采以化学原液 双桶/单桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式运送到制程使用点;5. 过滤器:配有10” PFA材质过滤器外壳;6. 供液泵:每种化学液体配有两台或者一台 PTFE材质的进口隔膜泵;7. Empty Sensor & Level Sensor:酸碱类采用一般型静电容近接开关;8. 所有化学品柜、歧管箱及阀箱均提供泄漏侦测器与警报功能。CDS系统设备规格 1. 系统主要功能概述设备主要功能:每种化学液体配两个桶(自动切换)、配两台泵(一用一备)、带过滤器;系统控制单元:配带OMRON 8”彩色触摸屏,OMRON品牌PLC系统;2. 操作模式: CDS 系统皆有PLC 作Unit 内部流程控制,操作介面以流程方式执行,兼具自动化与亲和力。在...
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市场份额从0到60%,国产电视芯片是如何崛起的?

时间: 2018-09-04
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电视作为一种常见的家电,如今几乎成了家庭必备的产品。从黑白到彩电再到液晶、4K、OLED、激光电视,我国的电视经历了六十多年的发展,如今已经形成了一条成熟的产业链。目前,中国是全球最大的电视市场,全球十大电视企业,国内占一半,TCL、海信、康佳、海尔、长虹等企业市场份额巨大。


市场份额从0到60%,国产电视芯片是如何崛起的?


国产电视芯片崛起的大环境


中国拥有很好的电视消费群体,电视企业在不断发展过程中,也将技术发扬光大。在电视设计、研发、生产、供应等方面形成了强大而完善的体系,唯独屏幕和芯片两大核心部件,一直以来是国产电视厂商的“心病”。目前,在屏幕这块,依旧是索尼、三星、LG、夏普、飞利浦、奇美、友达等厂商独霸市场;电视芯片也是台湾的联发科和开曼晨星占主要市场份额。


市场份额从0到60%,国产电视芯片是如何崛起的?


近年来,国内电视芯片企业逐渐崛起,尤其是4K电视芯片领域,国内企业占比超过六成,涌现了华为海思、海信、海尔、锐迪科、晶晨半导体等知名的电视芯片厂商。


1、不同于传统电视,电视芯片是智能电视的“大脑”


市场份额从0到60%,国产电视芯片是如何崛起的?


在黑白电视和早期的彩色电视时代,屏幕才是电视企业最关注的参数之一,电视芯片的地位无足轻重。随着人们对电视的画质、便捷性要求越来越高,互联网、高清、智能电视时代的来临,电视芯片成为了众多电视厂商争相竞争的关键筹码,芯片性能对于电视的体验至关重要。不同于手机芯片需要“操心”的事情那么多,电视芯片主要控制电视的画质、音质、运行速度、解码功能等,但同样不可或缺。


如果是传统的电视,电视芯片的性能似乎没那么看重,“AI+电视”给了行业更多的想象力,智能电视已经成为电视企业抢占市场重要战略产品,TCL、海尔、小米等企业纷纷加大研发力度,意在抢占市场先机,智能电视或将是未来电视的标配。据相关数据统计,随着生活水平提升,人们对电视要求不只是看剧这么简单,人工智能电视市场份额提升显著,同比增幅八成以上。


市场份额从0到60%,国产电视芯片是如何崛起的?


智能电视是一种搭载了操作系统的全开放式的平台,像智能手机一样,用户可以自行安装和卸载软件、游戏等第三方服务商提供的程序,通过此类程序来不断对彩电的功能进行扩充,并可以通过网线、无线网络来实现上网冲浪。


智能电视要实现“智能”首先意味着硬件技术的升级和革命,只有配备了业界领先的高配置、高性能芯片,才能顺畅运行大型3D体感游戏和各种软件程序。智能电视需要既能完成传统电视的解码显示功能,又能运行操作系统和众多应用,因此芯片设计上两方面均要兼顾,可以说电视芯片是智能电视的“大脑”。


2、国产电视芯片企业的市场份额增加


和其它芯片的发展一样,大陆早期的电视芯片几乎全是进口,而这其中,台湾芯片占据了市场主流,晨星、联发科、联咏科技、瑞昱半导体四大电视芯片企业垄断国内市场。早期我国的芯片设计人才紧缺、企业资金有限,多方面原因造成了电视芯片对进口的依赖。


市场份额从0到60%,国产电视芯片是如何崛起的?


一方面,台湾企业借助自身优势涨价,芯片采购的成本上涨,另一方面国家和企业意识到“电视芯片”的重要性,纷纷下苦功,一时间,国内掀起了一股“芯片”研发狂潮。依托于彩电市场的用户基础,国内巨头海信在2001年开始自主研发电视芯片,终于在2005年成功研制中国第一颗电视芯片海信“信芯”,去年海信又推出了全新的画质SOC芯片“Hi-View Pro”,在提升液晶电视画面动态对比度方面表现突出。


3、从台企“四大金刚”到国产占比暴涨


目前国内电视芯片的当红“炸子鸡”当属华为海思,华为海思的hi3751V600、hi3751V510芯片,正成为多个品牌4K电视的“心脏”,包括夏普、海信、康佳等多个品牌都使用上了海思芯片,目前出货量超过千万颗,国内市场份额超过三成。如今,锐迪科、晶晨半导体等厂商市场份额也在提升。


据相关数据统计,2017年上半年,在中国液晶电视主控芯片市场,晨星台湾市场份额约四成,联发科技市场份额约5%,合计低于五成,市场份额明显下降,这主要得益于一些新的厂商的崛起。而在4K电视主控芯片领域,国内芯片企业占比超过60%。


国内电视芯片崛起的四大原因


市场份额从0到60%,国产电视芯片是如何崛起的?


一、国家重视电视芯片


芯片产业的崛起离不开国家的支持,近年来,“中国芯”的市场地位逐年提升,这得益于国家政策的扶持。《国家集成电路产业发展推进纲要》和《中国制造2025》的出台,为我国集成电路产业实现跨越式发展注入了强大动力,也体现了国家高度重视我国集成电路产业的发展。


中国是电视生产大国,国家对电视芯片的重视不言而喻,海信、海尔均具有国企背景,它们纷纷投入巨资研发“电视芯片”,体现了大力发展的决心。


二、国内电视芯片企业发愤图强


除了上面提到的华为、海信、海尔在研发电视芯片上的努力和成绩,锐迪科、晶晨半导体等国内企业也非常给力。2010年,锐迪科推出了应用于地面数字电视接收的高性能射频接收芯片RDA5880,这是在国内该领域首颗成功上市的芯片,据OFweek电子工程网获悉,RDA5880是专门面向中国地面数字电视市场而设计的一款芯片。晶晨半导体在2015年发布了全球首款4K插卡式智能电视处理器解决方案——T866(主芯片)+T101,这一解决方案主要功能是基于Amlogic T866芯片,据悉,Amlogic T866主控芯片成功应用在海尔“魔卡电视”和大麦“分体电视”上。


三、国内电视市场体量大,智能电视是一片蓝海


中国作为全球最大的电视消费市场,占据一半的市场份额,而只能电视又是未来 的一片蓝海,电视芯片的市场前景不可限量。数据显示,2017年年底,智能电视保有量即达到了1.93亿台,同比增长31.9%。


市场份额从0到60%,国产电视芯片是如何崛起的?


据相关机构预测,到2020年,智能电视存量超过2.8亿台,占市场比例近60%,智能电视到达率将逐步攀升到70%。就目前而言,国产芯片厂商的占有率仍有较大上升空间,这给了它们非常好的市场供应链环境。


四、“涨价潮”给了国内电视芯片更多的机会


近年来,对于电视企业而言,上下游的压力是很大的,消费者对价格的敏感让成本控制成为厂家关注的重点。面板连年上涨,进口的电视芯片也一样。由于台湾的晨星被联发科收购,市场形成了“垄断”,价格提升很多,很多电视企业举步维艰。这给了国内电视芯片企业提供了机遇。目前国内智能电视芯片主要以单芯片为主,一方面有成本优势,另一方面降低了智能电视的设计和研发难度,相对于进口关税等成本,国内企业的优势明显。


高端电视芯片仍需持续发力


市场份额从0到60%,国产电视芯片是如何崛起的?


相对于国际顶尖的芯片企业,国内的电视芯片企业仍以中低端芯片供应为主,在知识产权和高端电视芯片上,仍需要投入巨大的时间和精力,如8K分体电视等领域。由于芯片研发是个长期的国产,作为消费者的我们愿意去等,也期待着它们创造新的成绩。可喜的是,华为、海信等国产电视芯片领跑者正在一步步兑现当初的诺言,它们正在用“芯”助力大国崛起。


从海信成功研制中国第一块超高清画质引擎芯片到华为海思推出的高端电视芯片hi3751V510,目前已成为主流4K电视的“标配”。“中国芯”正在用“芯”突围,这一次它们的主战场是电视芯片。

源自:电子工程网


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