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湿法制程整体解决方案提供商

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发布时间: 2016 - 03 - 14
2设备构成及详细技术说明2.1工艺说明 2.2.台面结构图如下      3.设备说明3.1 排风系统●排风装置(排风压力、风量根据实际情况或客户要求设计)将设备内挥发的有毒气体抽到车间排风管道或户外(室外排放遵守国家环保要求),避免扩散到室内;●排风通道内设有风量导流板,从而使排风效果达到最佳;●本体顶部后方自带强力抽风1个风道口装置(每个药剂槽对应一个),排风口直径大于或等于 200mm 与本体焊成一体;●排风口处设有手动调节风门,操作人员可根据情况及时调节排风量;3.2设备防护门:●本体前方安装有防护隔离门,隔离门采用透明PVC板制成,前门可以轻松开合,在清洗过程中,隔离门关闭,以尽量改善工作环境并减小对人体的伤害. ●形式:上下推拉门。3.3 给排水/废液系统●给水管路为一路去离子水;●给排水排废接头均为活性连接;●排放方式均采用气动控制的方式来保证安全3.4 电气控制系统●采用优质PLC可编程控制器控制全操作过程, ●人机界面为触摸屏,接口中有手动操作、故障报警、安全保护等功能,各工作位过程完成提前提示报警,触摸屏选用优质产品;●触摸屏加锁定,以防非授权人员修改或设定参数;●所有电控部分需独立封闭,带抽风系统,独立的配电柜●设备照明:设备其它部位--低电压灯,根据工作需要可控照明;●设备整体采取人性化设计,方便操作;并装有漏电保护和声光报警提示装置,保证性能安全可靠;电控部分导线采用耐高温、耐腐蚀的专用导线,电气控制部分内部还通有压缩空气保护,可防水耐腐蚀;●设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE管进行保护,免受腐蚀;●设备具有良好的接地装置;
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表面清洗硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散和引线蒸发等工序前,采用物理或化学的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物,以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程。在硅片加工工艺中,有多达20%的步骤为清洗。制造一种设备将硅片表面的沾污全部除去是不可能的。在硅片清洗过程中,将每片上的沾污从百万级降低到十万级相对容易,但要把沾污全部去除或在全部工艺中保证沾污不再增加却是非常困难的。所以,不同的工艺技术所要求的硅片最终表面态不同,其所需要的清洗方法也不相同,不可把各种清洗方法同等对待。1硅片清洗设备的清洗工艺清洗的一般思路是首先去除硅片表面的有机沾污,因为有机物会遮盖部分硅片表面,从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除;然后溶解氧化膜,因为氧化层是“沾污陷阱”,也会引入外延缺陷;最后再去除颗粒、金属等沾污。1.1清除有机表面膜、粒子和金属沾污A类硅片清洗设备的工艺流程见表1。 1.2清洗工艺步骤第1步:NH4OH+H2O2+H2O比例为1∶1∶5第2步:HCl+H2O2+H2O比例为1∶1∶5此工艺分为氧化、络合处理两个过程。使用NH4OH+H2O2+H2O,温度控制在75~80℃。H2O2在高pH值时为强氧化剂,破坏有机沾污,其分解为H2O和O2。NH4OH对许多金属有强的络合作用。HCl+H2O2+H2O中的HCl靠溶解和络合作用形成可溶的碱或金属盐。分别在第1步和第2步的前、中加...
发布时间: 2021 - 02 - 26
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蚀刻是从材料表面去除材料的过程。蚀刻的两种主要类型是湿蚀刻和干蚀刻(例如,等离子体蚀刻)。涉及使用液体化学药品或蚀刻剂去除基板材料的蚀刻工艺称为湿蚀刻。在等离子体蚀刻工艺中,也称为干蚀刻,使用等离子体或蚀刻气体来去除衬底材料。干蚀刻会产生气态产物,这些产物应扩散到大量气体中并通过真空系统排出。干蚀刻有三种类型(例如等离子蚀刻):化学反应(通过使用反应性等离子体或气体),物理去除(通常通过动量传递)以及化学反应和物理去除的组合。另一方面,湿蚀刻仅是化学过程。干法刻蚀(等离子刻蚀)和湿法刻蚀的优缺点 湿法刻蚀工艺的优点是设备简单,刻蚀速率高,选择性高。但是,有许多缺点。湿蚀刻通常是各向同性的,这导致蚀刻剂化学物质去除了掩膜材料下方的基板材料。湿蚀刻还需要大量的蚀刻剂化学物质,因为基底材料必须被蚀刻剂化学物质覆盖。此外,必须一致地替换蚀刻剂化学物质,以保持相同的初始蚀刻速率。结果,与湿蚀刻有关的化学和处理成本非常高。干蚀刻的一些优点是其自动化能力和减少的材料消耗。与湿法蚀刻相比,干法蚀刻(例如,等离子蚀刻)的成本更低。纯化学干法蚀刻的一个例子是等离子体蚀刻。纯化学蚀刻技术(特别是等离子蚀刻工艺)的缺点是它们不具有较高的各向异性,因为反应物质可以在任何方向上反应并且可以从掩膜材料下方进入。各向异性是指仅在一个方向上进行蚀刻。当只需要在垂直方向上去除材料时,此属性很有用,因为不会去...
发布时间: 2021 - 02 - 26
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SiO2膜在微技术中具有两个主要作用:作为介电层或作为掺杂/蚀刻掩模。在这两种情况下,通常都需要图案化。当在高温烘箱中通过硅衬底的氧化获得时,SiO2被称为“热”。否则,它可以通过化学气相沉积(CVD)作为附加层而获得,不需要硅衬底。氧化物厚度通常在100 nm和1000 nm之间(即分别为1000Å和10000Å,这是在薄膜技术中仍非常流行的埃单位的使用)。它可以容易地用对硅的影响可以忽略不计的化学物质蚀刻。而且,许多硅蚀刻剂不影响氧化物。这种可能性被广泛用于所有基于硅的微技术中。如果氧化物用作硅加工的高温掩模,则必须预先在低温下使用基于抗蚀剂的微光刻工艺对其进行构图。当必须在硅上进行室温工艺时,可以避免使用氧化物掩膜,因为抗蚀剂可以直接充当硅的掩膜。但是,有些化学物质可以轻松蚀刻抗蚀剂和硅。典型的例子是硅的各向异性蚀刻,通常在KOH(氢氧化钾)中进行。在这种情况下,稀释的KOH也是用于正性抗蚀剂的典型显影液。因此,蚀刻过程应以黄光进行,抗蚀剂对此不敏感。这是不切实际的。但是即使如此,由于对于硅的可接受的蚀刻速率需要浓缩的KOH,因此再次不能使用抗蚀剂,因为未经稀释的KOH会去除抗蚀剂,即使它没有被曝光。SiO2的一种非常“选择性”的化学物质(即根本不腐蚀硅)是氢氟酸(HF)。如果直接使用,则这种蚀刻剂对氧化物具有过快和过强的作用,使得底切和线宽控制非常困难。...
发布时间: 2021 - 02 - 26
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多晶酸制绒原理多晶硅绒面制备方法多晶硅表面由于存在多种晶向,不如(100)晶向的单晶硅那样能利用各向异性化学腐蚀得到理想的绒面结构,因而对于多晶硅片,目前主要采用各向同性的酸腐方法来制备绒面。主要方法:是利用硝酸和氢氟酸、去离子水来配制酸性腐蚀液。对于多晶硅片进行各向同性腐蚀,在硅片表面形成蜂窝状的绒面结构,从而提高太阳电池的光电转换效率。根据溶液对硅的各向同性腐蚀特性,在硅片表面进行织构化处理而形成绒面。1.第一步:硅的氧化硝酸和氢氟酸的混合液可以起到很好的腐蚀作用,硝酸的作用是使单质硅氧化为二氧化硅,其反应为:3Si+4HNO3===3SiO2+2HO2+4NO2.第二步:二氧化硅的溶解二氧化硅生成以后,很快与氢氟酸反应 SiO2+4HF=SiF4+2H2O(四氟化硅是气体) SiF4+2HF=H2SiF6总反应: SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O终反应掉的硅以六氟硅酸的形式进入溶液并溶于水。这样,二氧化硅被溶解之后,硅又重新露出来,一步、二步的反应不断重复,硅片就可以被持续的腐蚀下去。单晶绒面图片多晶绒面图片 单晶硅制绒液体的组成和作用制绒溶液主要是由碱性物质(NaOH、KOH、Na2CO3等)及添加剂(硅酸钠、酒精或异丙醇)组成的混合溶液。碱性物质发生电离或者水解出OH离子与硅发生反应,从而形成绒面。碱的适宜浓度为5%以下。酒精或异丙醇有三个作用:a、协助...
发布时间: 2021 - 02 - 25
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目前,在国内外半一导体器件制造工艺中,用等离子去胶工艺代替常规化学溶剂去胶及高温氧气去胶已获得显著效果,越来越引起半导体器件制造者的重视。由于该工艺操作简便、成本低、可节约大量的化学试剂、对器件参数无影响、去胶效果好。在集成电路多层布线工艺中用高温氧气去胶常使一次布线铝层由于四百多度高温氧化发黄,而影响与二次布线铝层的欧姆接触,若用发烟硝酸去胶后擦片又常使铝层擦伤而降低了二次布线的合格率。采用等离子去胶则可大大减少铝层表面的擦伤,不氧化,无底膜,保证二次布线的欧姆接触,提高了多层布线的合格率。为大面积集成电路的发展提供了很好的前景。一、等离子体及产生等离子体的方法作为物质的第四态,高度电离的气体叫做等离子体。等离子体具有导电性。从产生方法不同又可分为高温等离子体及低温等离子体两种。高温等离子体如氢弹的爆炸,火花放电及太阳表面的高温都能使气体电离成为等离子体,这种方法产生的等离子体,温度能达到几千度到几十万度,称为高温等离子体去胶工艺使用的是低温等离子体,其作用原理是低压气体在电场力的作用下发生电离在电离过程中,低压气体中残存的少量自由电子在电场力作用下,向正电极运动,由于低压气体密度小,自由电子的平均自由程较大,在与气体分子的两次碰撞之间能够获得很高的能量,这种高能量的自由电子撞击气体分子,使它离解成电离子和自由电子,这些气体部分分子电离后又有更多的自由电子撞击气体分子,因此离子数...
发布时间: 2021 - 02 - 25
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我们研究材料的红外光学特性的主要工具是红外光谱。例如,我们试图阐明纳米结构对III型氮化物材料中光学跃迁和电子传输的影响。减少氮化物红外光电器件中内置极化场的影响的重要且几乎未探索的途径是在GaN的非极性方向(例如m平面)上使用异质结构。该图显示了在c面GaN(极性方向)和m面GaN(非极性方向)上具有AlGaN势垒的两个结构相同的GaN QW的能带结构之间的比较。对于m面取向的GaN,极化矢量位于垂直于生长方向的平面上,因此异质结处没有极化不连续性。除了简化平坦频带条件下的器件建模外,非极性GaN上结构的一些直接优势还包括改进的光学偶极矩阵元素,隐式吸收以及对高能级能量的限制。我们最近首次能够观察到在Kyma Tech的m平面独立式GaN衬底上生长的AlGaN / GaN超晶格中的近红外吸收。这些结果对于未来的非极性氮化物器件是最有希望的。我们最近首次能够观察到在Kyma Tech的m平面独立式GaN衬底上生长的AlGaN / GaN超晶格中的近红外吸收。这些结果对于未来的非极性氮化物器件是最有希望的。我们最近首次能够观察到在Kyma Tech的m平面独立式GaN衬底上生长的AlGaN / GaN超晶格中的近红外吸收。这些结果对于未来的非极性氮化物器件最有希望。
发布时间: 2021 - 02 - 25
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随着科技的发展,在当前社会中,大规模集成电路、半导体器件等得到了越来越广泛的应用,对其可靠性、电能性等性能的要求也越来越高。因此,半导体单晶抛光片的表面洁净程度就显得更为重要。因此,在半导体单晶抛光片的清洗过程中,要想得到更为良好的抛光片质量,不能仅仅对抛光片表面的污染物进行清除。在实际清洗过程当中,除了抛光片表面的污垢以外,表面粗糙度、氧化膜厚度、表面化学态等都是应当关注的问题。1半导体单晶抛光片的清洗在当前的世界范围内,对于半导体单晶抛光片的清洗工艺来说,硅单晶抛光片的清洗工艺相对较为成熟,普遍采用的是美国无线电公司的RCA清洗法。而对于砷化镓、锗等半导体单晶抛光片来说,其清洗工艺仍然较为保密,相关的研究也不够成熟。因此,应当结合半导体单晶抛光片的清洗工艺实例进行分析,探寻清洗半导体材料抛光片的关键性技术,从而对硅、砷化镓、锗等半导体材料抛光片的清洗工艺和技术水平提高提供借鉴和参考。在清洗半导体单晶抛光片的过程中,由于半导体材料的性质、数量、氧化物种类等方面的不同,也存在着一定的差异。例如,在硅单晶抛光片的清洗工艺中,先用稀氟氢酸进行清洗,然后再用氢氧化铵和双氧水的混合液进行清洗,最后用盐酸和双氧水的混合溶液进行清洗[1]。在砷化镓抛光片清洗工艺中,先使用氢氧化钾溶液进行清洗,然后进行紫外光照射和臭氧清洗,最后采用酸性活性剂进行清洗。在锗单晶抛光片的清洗工艺中,先用浓硫酸进行清...
发布时间: 2021 - 02 - 25
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单晶硅片从切片到抛光清洗的工艺流程一、硅片生产主要制造流程如下: 切片→倒角→磨片→磨检→CP→CVD→ML→最终洗净→终检→仓入 二、硅片生产制造流程作业实习 1. 硅棒粘接:用粘接剂对硅棒和碳板进行粘接,以利于牢固的固定在切割机上和方位角的确定。 2. 切片(Slice):主要利用内圆切割机或线切割机进行切割,以获得达到其加工要求的厚度,X、Y方向角,曲翘度的薄硅片。 3. 面方位测定:利用X射线光机对所加工出的硅片或线切割前要加工的硅棒测定其X、Y方位角,以保证所加工的硅片的X、Y方位角符合产品加工要求。 4. 倒角前清洗:主要利用热碱溶液和超声波对已切成的硅片进行表面清洗,以去除硅片表面的粘接剂、有机物和硅粉等。 5. 倒角(BV):利用不同的砥石形状和粒度来加工出符合加工要求的倒角幅值、倒角角度等,以减少后续加工过程中可能产生的崩边、晶格缺陷、处延生长和涂胶工艺中所造成的表面层的厚度不均匀分布。 6. 厚度分类:为后续的磨片加工工艺提供厚度相对均匀的硅片分类,防止磨片中的厚度不均匀所造成的碎片等。 7. 磨片(Lapping):去除切片过程中所产生的切痕和表面损伤层,同时获得厚度均匀一致的硅片。 8.&#...
发布时间: 2021 - 02 - 25
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本文介绍了玻璃微加工的工艺,包括喷砂,湿法蚀刻,反应离子蚀刻(RIE)和玻璃回流技术。根据实验介绍并讨论了每种方法的优缺点。喷砂和湿法蚀刻技术是简单的工艺,但是在小而高纵横比的结构中却面临困难。演示了喷砂处理过的2 cm×2 cm Tempax玻璃晶片,其蚀刻深度约为150 µm。通过湿蚀刻工艺观察到具有蚀刻深度和侧面约20μm的Tempax玻璃结构。这项工作最重要的方面是开发RIE和玻璃回流焊技术。这些方法的当前挑战在此得到解决。深Tempax玻璃柱,表面光滑,垂直,通过RIE技术获得了直径为1μm的玻璃柱,纵横比为2μm,蚀刻深度为10μm的高深宽比为10的玻璃。通过玻璃回流技术成功地演示了嵌入在Tempax玻璃内部的贯穿硅晶片互连。研究了玻璃回流到大腔体(大于100μm),微沟槽(0.8μm宽沟槽)和微毛细管(直径1μm)的情况。进行了工艺流程的其他优化,以使玻璃渗透到微型图案中。并研究了微毛细管(直径为1μm)。进行了工艺流程的其他优化,以使玻璃渗透到微型图案中。并研究了微毛细管(直径为1μm)。进行了工艺流程的其他优化,以使玻璃渗透到微型图案中。关键词:玻璃微加工,湿法蚀刻,喷砂,反应离子蚀刻,玻璃回流工艺去:1.简介由于玻璃的优异材料性能,包括透明度,机械强度,和介电性能,该玻璃已经被广泛用于微纳米机械系统[ 1,2 ],微纳米流体装置[ 3,4 ]...
发布时间: 2021 - 02 - 25
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用于制造微电子器件的薄膜都是使用某种沉积技术形成的,该术语是指在基板上形成沉积物。在半导体器件制造中,以下沉积技术(及其常用的缩写)为: 低压化学气相沉积-LPCVD等离子体增强化学气相沉积-PECVD低于大气压的化学气相沉积-SACVD大气压化学气相沉积-APCVD原子层沉积-ALD物理气相沉积-PVD超高真空化学气相沉积-UHV-CVD类金刚石碳-DLC商业电影-CF外延沉积-Epi化学气相沉积和薄膜形成化学气相沉积法可以定义为其中通过气相吸附的前体的表面介导反应在基材上形成固体薄膜的任何方法。CVD工艺的反应性使其与物理工艺(如PVD中采用的蒸发和溅射)区别开来。术语“表面介导的”是指固体膜是由在基材表面发生的异质反应形成的。有关其他信息,请参见 化学气相沉积物理。 图1显示了有助于理解CVD反应器中不同过程的示意图。化学气相沉积过程可分为多个离散步骤:首先,必须将前体化学物质送入CVD反应器。一旦进入反应器,通常必须通过流体传输和扩散的组合将前体分子传输到基底表面。一旦在表面上,前体分子必须保持足够长的时间才能反应。反应发生后,产物薄膜原子必须保留在表面上,而副产物分子必须从基材表面解吸,从而为更多的传入前体分子腾出空间。典型的CVD工艺薄膜CVD工艺生产的典型薄膜包括: 外延硅外延化合物半导体多晶硅介电薄膜二氧化硅(包括P和B掺杂的氧化物)氧...
发布时间: 2021 - 02 - 25
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